Кућа
Материјали
0102030405
Силицијум карбид који се користи за делове отпорне на корозију, делове заптивке, делове отпорне на високе температуре, водилице и квадратне греде
Керамика од силицијум карбида има одличне механичке особине на нормалној температури, као што су висока чврстоћа, висока тврдоћа, висок модул еластичности, одлична стабилност на високим температурама, као што су висока топлотна проводљивост, низак коефицијент топлотног ширења и добра специфична крутост и својства оптичке обраде, посебно погодна за припрему фотолитографске машине и друге опреме за интегрисана кола за прецизне керамичке конструкцијске делове. Као што се користи у фотолитографској машини, прецизном покретном радном столу, скелету, усисној чаши, водено хлађеној плочи и огледалу за прецизно мерење, решетки и другим керамичким структурним деловима, Фоунтил нови материјал након година техничког истраживања, решава велике величине, танак зид, шупље и друге сложене структуре структурних делова од силицијум карбида прецизне обраде и припреме проблема, пробијајући техничко уско грло ове врсте технологије припреме прецизних структурних делова од силицијум карбида. У великој мери је промовисао локализацију кључних структурних делова који се користе у опреми за производњу интегрисаних кола.
● Керамика од силицијум карбида углавном укључује силицијум карбид за синтеровање без притиска (ССиЦ), реакцијски синтеровани силицијум карбид (РБСЦ), силицијум карбид за хемијско таложење паре (ЦВД-СиЦ).
● Силицијум карбид има низ одличних својстава: супер тврд, отпорност на хабање, високу топлотну проводљивост и механичку чврстоћу, низак коефицијент топлотног ширења, одличну термичку стабилност, ниску густину, високу специфичну крутост, немагнетност.
● Тренутно се керамика од силицијум карбида примењује у различитим индустријама као што су авијација, ваздухопловство и нуклеарна индустрија, као што су керамички делови врхунске опреме за производњу керамичких рефлектора од силицијум карбида и ИЦ интегрисаних кола, измењивача топлоте и материјала отпорних на метке у екстремним условима.
Карактеристике прецизних керамичких структурних делова за опрему за производњу интегрисаних кола:
① Веома лаган: Да би се смањила инерција кретања, смањило оптерећење мотора, побољшала ефикасност кретања, тачност и стабилност позиционирања, структурни делови генерално користе дизајн лагане структуре, стопа лагане тежине је 60-80%, до 90%;
② Висока тачност положаја форме: Да би се постигло померање и позиционирање високе прецизности, од структурних делова се захтева изузетно висока тачност облика и положаја, равност, паралелизам и окомитост морају бити мањи од 1 μм, а облик и потребно је да тачност положаја буде мања од 5μм.
③ Висока димензионална стабилност: Да би се постигло померање и позиционирање високе прецизности, од структурних делова се захтева да имају изузетно високу димензијску стабилност, да не производе напрезање и високу топлотну проводљивост, низак коефицијент топлотног ширења, да није лако произвести велике димензионалне деформације ;
④ Чисто и без загађења. Од структурних делова се захтева изузетно низак коефицијент трења, мали губитак кинетичке енергије током кретања и без загађења честицама млевења. Материјал силицијум карбида има веома висок модул еластичности, топлотну проводљивост и низак коефицијент топлотног ширења, није лако произвести деформацију напрезања савијања и термичку деформацију и има одличну могућност полирања, може се машински обрађивати до одличног огледала; Стога, има велике предности да се користи силицијум карбид као прецизан структурни материјал за кључну опрему интегрисаних кола као што је фотолитографска машина, силицијум карбид има предности добре хемијске стабилности, високе механичке чврстоће, високе топлотне проводљивости и ниског коефицијента топлотног ширења, и може се применити на високим температурама, високом притиску, корозији и зрачењу у екстремним окружењима.
Силицијум карбид има предности добре хемијске стабилности, високе механичке чврстоће, високе топлотне проводљивости и ниског коефицијента топлотног ширења, а може се применити на високој температури, високом притиску, корозији и зрачењу у екстремним окружењима.
Кључна опрема интегрисаног кола захтева да материјали компоненти имају карактеристике мале тежине, велике чврстоће, високе топлотне проводљивости и ниског коефицијента топлотног ширења, те да су густи и једнолични без дефеката. Од компоненти се захтева изузетно висока тачност димензија и стабилност димензија како би се обезбедило ултра-прецизно кретање и контрола опреме. Керамика од силицијум карбида има висок модул еластичности и специфичну крутост, није се лако деформисати и има високу топлотну проводљивост и низак коефицијент топлотног ширења, високу термичку стабилност, тако да је керамика од силицијум карбида одличан структурни материјал, тренутно у производњи интегрисаних кола. кључна опрема за добијање широког спектра примена, као што је машина за литографију са радним столом од силицијум карбида, водилица, рефлектор, керамичка стезна глава и керамички завршни ефектор.
Фоунтил може да задовољи фотолитографску машину као представник кључне опреме за производњу интегрисаног кола са великом величином, шупљим танким зидом, сложеном структуром, прецизном технологијом припреме структурних делова од силицијум карбида, као што су: вакуумска стезаљка од силицијум карбида, водилица, рефлектор, радни сто и низ прецизних структурних делова од силицијум карбида за фотолитографске машине.
| Својства | Фоунтил | ||
| Густина (г/цм3) | 2.98-3.02 | ||
| Јангов модул (ГПа) | 368 | ||
| Чврстоћа на савијање (МПа) | 334 | ||
| Веибулл | 8.35 | ||
| ЦТЕ (×10-6/℃) | 100℃ | 2,8×10-6 | |
| 400℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000℃ | 4,6×10-6 | ||
| Топлотна проводљивост (В/м·к) (20 ºЦ) | 160-180 | ||
| Поиссонов однос | 0.187 | ||
| Модул смицања (ГПа) | 155 | ||