Imah
Bahan
Silicon carbide dipaké pikeun bagian tahan korosi, bagian anjing laut, bagian tahan suhu luhur, pituduh rel jeung balok kuadrat.
Keramik silikon carbide gaduh sipat mékanis anu saé dina suhu normal, sapertos kakuatan anu luhur, karasa luhur, modulus elastis anu luhur, stabilitas suhu anu saé, sapertos konduktivitas termal anu luhur, koefisien ékspansi termal rendah, sareng kaku spésifik anu hadé sareng sipat pamrosésan optik, khususna cocog. pikeun persiapan mesin photolithography jeung alat sirkuit terpadu séjén pikeun precision bagian struktur keramik. Sapertos anu dianggo dina mesin photolithography precision pindah méja workpiece, rorongkong, cangkir nyeuseup, plat cai-tiis jeung eunteung ukur precision, grating jeung bagian struktur keramik lianna, Fountyl bahan anyar sanggeus taun panalungtikan teknis, ngajawab ukuran badag, témbok ipis, kerung jeung struktur kompléks séjén silikon carbide bagian struktural processing precision jeung masalah persiapan, megatkeun ngaliwatan bottleneck teknis jenis ieu precision silikon carbide téhnologi persiapan bagian struktural. Eta geus greatly diwanohkeun lokalisasi bagian struktural konci dipaké dina alat-alat manufaktur circuit terpadu.
● Silicon carbide keramik utamana kaasup pressureless sintering silikon carbide (SSiC), réaksi-sintered silikon carbide (RBSC), kimia uap déposisi silikon carbide (CVD-SiC).
● Silicon carbide boga rupa-rupa sipat alus teuing: super teuas, ngagem lalawanan, konduktivitas termal tinggi jeung kakuatan mékanis, koefisien ékspansi termal low, stabilitas termal alus teuing, dénsitas low, stiffness husus tinggi, non-magnét.
● Dina hadir, silikon carbide keramik anu dilarapkeun dina sagala rupa industri kayaning aviation, aerospace jeung industri nuklir, kayaning bagian keramik parabot luhur-tungtung pikeun silikon carbide pemantul keramik jeung IC manufaktur sirkuit terpadu, exchangers panas jeung bahan bulletproof dina kaayaan ekstrim.
Fitur bagian struktur keramik precision pikeun alat manufaktur sirkuit terpadu:
① Kacida lightweight: Dina raraga ngurangan inersia gerak, ngurangan beban motor, ngaronjatkeun efisiensi gerak, akurasi positioning jeung stabilitas, bagian struktural umumna ngagunakeun desain struktur lightweight, laju lightweight nyaeta 60-80%, nepi ka 90%;
② Akurasi posisi-bentuk anu luhur: Pikeun ngahontal gerakan sareng posisi anu presisi luhur, bagian-bagian strukturna diwajibkeun gaduh bentuk sareng akurasi posisi anu luhur pisan, kerataan, paralelisme sareng perpendicularity kedah kirang ti 1μm, sareng bentuk sareng akurasi posisi diperlukeun pikeun jadi kirang ti 5μm.
③ stabilitas dimensi High: Dina raraga ngahontal gerakan precision tinggi na positioning, bagian struktural anu diperlukeun pikeun mibanda stabilitas dimensi pisan tinggi, teu ngahasilkeun galur, sarta konduktivitas termal tinggi, koefisien ékspansi termal low, teu gampang pikeun ngahasilkeun deformasi dimensi badag. ;
④ Bersih sareng bebas polusi. Bagian struktural diwajibkeun gaduh koefisien gesekan pisan low, leungitna énergi kinétik leutik salila gerak, sarta euweuh polusi partikel grinding. bahan Silicon carbide ngabogaan modulus elastis pisan tinggi, konduktivitas termal jeung koefisien ékspansi termal low, teu gampang pikeun ngahasilkeun bending deformasi stress jeung galur termal, sarta ngabogaan polishability alus teuing, bisa machined kana eunteung alus teuing; Ku alatan éta, Cai mibanda kaunggulan hébat ngagunakeun silikon carbide salaku bahan struktural precision pikeun parabot konci sirkuit terpadu kayaning mesin photolithography, Silicon carbide boga kaunggulan stabilitas kimiawi alus, kakuatan mékanis tinggi, konduktivitas termal tinggi jeung koefisien ékspansi termal low, tur bisa dilarapkeun dina suhu luhur, tekanan tinggi, korosi jeung radiasi lingkungan ekstrim.
Silicon carbide boga kaunggulan stabilitas kimiawi alus, kakuatan mékanis tinggi, konduktivitas termal tinggi jeung koefisien ékspansi termal low, sarta bisa dilarapkeun dina suhu luhur, tekanan tinggi, korosi jeung radiasi lingkungan ekstrim.
Alat-alat konci sirkuit terpadu merlukeun bahan komponén boga ciri beurat hampang, kakuatan tinggi, konduktivitas termal tinggi jeung koefisien ékspansi termal low, sarta padet tur seragam tanpa cacad. Komponén diwajibkeun gaduh akurasi diménsi anu luhur pisan sareng stabilitas dimensi pikeun mastikeun gerakan ultra-precision sareng kadali alat. Keramik silikon carbide boga modulus elastis tinggi jeung stiffness husus, teu gampang deform, sarta ngabogaan konduktivitas termal tinggi jeung koefisien ékspansi termal low, stabilitas termal tinggi, jadi silikon carbide keramik mangrupa bahan struktural alus teuing, ayeuna di manufaktur circuit terpadu. parabot konci pikeun ménta rupa-rupa aplikasi, kayaning mesin lithography kalawan silikon carbide meja kerja, pituduh rail, pemantul, cuk keramik, sarta effector tungtung keramik.
Fountyl bisa minuhan mesin photolithography salaku wawakil sirkuit terpadu manufaktur parabot konci kalayan ukuran badag, témbok ipis kerung, struktur kompléks, precision silikon carbide téhnologi préparasi bagian struktural, kayaning: silikon carbide cuk vakum, pituduh rail, pemantul, meja kerja. jeung runtuyan precision silikon carbide bagian struktural pikeun mesin photolithography.
| Pasipatan | Fountyl | ||
| Kapadetan (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Modulus Young (GPa) | 368 | ||
| Kakuatan lentur (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100 ℃ | 2,8 × 10-6 | |
| 400 ℃ | 3,6 × 10-6 | ||
| 800 ℃ | 4,2 × 10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4,6 × 10-6 | ||
| Konduktivitas Termal (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Babandingan Poisson | 0.187 | ||
| Modulus geser (GPa) | 155 | ||