Nyumbani
Nyenzo
Silicon carbudi inayotumika kwa sehemu zinazostahimili kutu, sehemu za mihuri, sehemu zinazostahimili joto la juu, reli za mwongozo na mihimili ya mraba.
Keramik za silicon carbide zina sifa bora za mitambo kwa joto la kawaida, kama vile nguvu ya juu, ugumu wa juu, moduli ya juu ya elastic, utulivu bora wa joto la juu, kama vile conductivity ya juu ya mafuta, mgawo wa chini wa upanuzi wa mafuta, na ugumu mzuri maalum na sifa za usindikaji wa macho, zinazofaa hasa. kwa ajili ya maandalizi ya mashine ya photolithography na vifaa vingine vya mzunguko jumuishi kwa sehemu za miundo ya kauri ya usahihi. Kama vile kutumika katika mashine photolithography usahihi kusonga workpiece meza, mifupa, kufyonza kikombe, sahani kilichopozwa maji na kioo kipimo usahihi, wavu na sehemu nyingine za kauri za kimuundo, Fountyl nyenzo mpya baada ya miaka ya utafiti wa kiufundi, kutatua ukubwa mkubwa, ukuta nyembamba, mashimo na muundo mwingine tata wa silicon CARBIDE sehemu za kimuundo usahihi usindikaji na matatizo ya maandalizi, kuvunja kupitia chupa ya kiufundi ya aina hii ya usahihi silicon CARBIDE sehemu za kimuundo teknolojia ya maandalizi. Imekuza sana ujanibishaji wa sehemu muhimu za kimuundo zinazotumiwa katika vifaa vya utengenezaji wa mzunguko jumuishi.
● Kauri za silikoni za CARBIDI hujumuisha hasa kabudi ya silikoni isiyo na shinikizo (SSiC), kabudi ya silikoni yenye athari-sintered (RBSC), silicon carbide ya uwekaji wa mvuke (CVD-SiC).
● Silicon CARBIDE ina aina mbalimbali za mali bora: ngumu sana, upinzani wa kuvaa, conductivity ya juu ya mafuta na nguvu za mitambo, mgawo wa chini wa upanuzi wa mafuta, utulivu bora wa joto, msongamano wa chini, ugumu wa juu maalum, usio wa sumaku.
● Kwa sasa, kauri za silicon carbide hutumika katika sekta mbalimbali kama vile usafiri wa anga, anga na sekta ya nyuklia, kama vile sehemu za kauri za vifaa vya hali ya juu kwa ajili ya kiakisi cha kauri cha silicon CARBIDE na utengenezaji wa saketi jumuishi za IC, vibadilisha joto na nyenzo zisizo na risasi chini ya hali mbaya.
Vipengele vya sehemu za muundo wa kauri za usahihi kwa vifaa vya utengenezaji wa mzunguko uliojumuishwa:
① Uzani mwepesi sana: Ili kupunguza hali ya mwendo, kupunguza mzigo wa gari, kuboresha ufanisi wa mwendo, usahihi wa nafasi na utulivu, sehemu za kimuundo kwa ujumla hutumia muundo wa muundo nyepesi, kiwango cha uzani mwepesi ni 60-80%, hadi 90%;
② Usahihi wa nafasi ya hali ya juu: Ili kufikia harakati na uwekaji wa usahihi wa hali ya juu, sehemu za muundo zinahitajika kuwa na umbo la juu sana na usahihi wa nafasi, usawazishaji, usawazishaji na upenyo vinahitajika kuwa chini ya 1μm, na fomu na usahihi wa nafasi unahitajika kuwa chini ya 5μm.
③ Uthabiti wa hali ya juu: Ili kufikia harakati na uwekaji wa usahihi wa hali ya juu, sehemu za kimuundo zinahitajika kuwa na uthabiti wa hali ya juu sana, zisitoe mkazo, na upitishaji wa hali ya juu wa mafuta, mgawo wa upanuzi wa chini wa mafuta, si rahisi kutoa deformation kubwa ya dimensional. ;
④ Safi na bila uchafuzi. Sehemu za muundo zinahitajika kuwa na mgawo wa chini sana wa msuguano, upotezaji mdogo wa nishati ya kinetiki wakati wa harakati, na hakuna uchafuzi wa chembe za kusaga. Silicon CARBIDE nyenzo ina moduli ya juu sana elastic, conductivity ya mafuta na mgawo wa chini wa upanuzi wa mafuta, si rahisi kuzalisha deformation ya dhiki bending na matatizo ya mafuta, na ina polishability bora, inaweza kuwa machined kioo bora; Kwa hivyo, ina faida kubwa kutumia silicon carbide kama nyenzo sahihi ya kimuundo kwa vifaa muhimu vya mizunguko iliyojumuishwa kama vile mashine ya kupiga picha, Silicon carbide ina faida za utulivu mzuri wa kemikali, nguvu ya juu ya mitambo, conductivity ya juu ya mafuta na mgawo wa chini wa upanuzi wa mafuta. na inaweza kutumika katika joto la juu, shinikizo la juu, kutu na mionzi ya mazingira uliokithiri.
Silicon CARBIDE ina faida ya utulivu mzuri wa kemikali, nguvu ya juu ya mitambo, conductivity ya juu ya mafuta na mgawo wa chini wa upanuzi wa joto, na inaweza kutumika katika joto la juu, shinikizo la juu, kutu na mionzi ya mazingira yaliyokithiri.
Vifaa muhimu vya mzunguko jumuishi vinahitaji kwamba vifaa vya vipengele vina sifa ya uzito wa mwanga, nguvu ya juu, conductivity ya juu ya mafuta na mgawo wa upanuzi wa chini wa mafuta, na ni mnene na sare bila kasoro. Vipengele vinahitajika kuwa na usahihi wa hali ya juu sana na uthabiti wa kipenyo ili kuhakikisha harakati na udhibiti wa usahihi wa kifaa. Keramik ya silicon ya carbide ina moduli ya juu ya elastic na ugumu maalum, si rahisi kuharibika, na ina conductivity ya juu ya mafuta na mgawo wa chini wa upanuzi wa mafuta, utulivu wa juu wa mafuta, hivyo keramik ya silicon carbudi ni nyenzo bora ya kimuundo, kwa sasa katika utengenezaji wa mzunguko jumuishi wa vifaa muhimu vya kupata aina mbalimbali za matumizi, kama vile mashine ya lithography yenye jedwali la kufanya kazi la silicon carbide, reli ya mwongozo, kiakisi, chuck ya kauri, na athari ya mwisho ya kauri.
Fountyl inaweza kukutana na mashine ya upigaji picha kama mwakilishi wa vifaa muhimu vya utengenezaji wa saketi iliyojumuishwa na saizi kubwa, ukuta mwembamba usio na mashimo, muundo tata, teknolojia ya utayarishaji wa sehemu za kimuundo za silicon carbide, kama vile: chuck ya utupu ya silicon carbudi, reli ya mwongozo, kiakisi, meza ya kufanya kazi. na mfululizo wa sehemu za muundo wa silicon carbudi ya usahihi kwa mashine ya kupiga picha.
| Mali | Founyl | ||
| Uzito (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Modulus ya Vijana (GPa) | 368 | ||
| Nguvu ya Flexural (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE (× 10-6/℃) | 100℃ | 2.8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3.6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4.2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4.6×10-6 | ||
| Uendeshaji wa Joto(W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| uwiano wa Poisson | 0.187 | ||
| moduli ya Shear (GPa) | 155 | ||