வீடு
பொருட்கள்
0102030405
சிலிக்கான் கார்பைடு அரிப்பை எதிர்க்கும் பாகங்கள், சீல் பாகங்கள், அதிக வெப்பநிலையை எதிர்க்கும் பாகங்கள், வழிகாட்டி தண்டவாளங்கள் மற்றும் சதுர விட்டங்களுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது.
சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் சாதாரண வெப்பநிலையில் சிறந்த இயந்திர பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன, அதாவது அதிக வலிமை, அதிக கடினத்தன்மை, உயர் மீள் மாடுலஸ், சிறந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை, உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன், குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் மற்றும் நல்ல குறிப்பிட்ட விறைப்பு மற்றும் ஒளியியல் செயலாக்க பண்புகள், குறிப்பாக பொருத்தமானது. ஃபோட்டோலித்தோகிராபி இயந்திரம் மற்றும் துல்லியமான பீங்கான் கட்டமைப்பு பாகங்களுக்கான பிற ஒருங்கிணைந்த சுற்று உபகரணங்களை தயாரிப்பதற்காக. ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தில் துல்லியமாக நகரும் பணிப்பொருளின் அட்டவணை, எலும்புக்கூடு, உறிஞ்சும் கோப்பை, நீர்-குளிரூட்டப்பட்ட தட்டு மற்றும் துல்லியமான அளவீட்டு கண்ணாடி, கிரேட்டிங் மற்றும் பிற பீங்கான் கட்டமைப்பு பாகங்கள், பல ஆண்டுகளாக தொழில்நுட்ப ஆராய்ச்சிக்குப் பிறகு Fountyl புதிய பொருள், பெரிய அளவு, மெல்லிய சுவர், சிலிக்கான் கார்பைடு கட்டமைப்பு பாகங்களின் வெற்று மற்றும் பிற சிக்கலான அமைப்பு துல்லியமான செயலாக்கம் மற்றும் தயாரிப்பு சிக்கல்கள், இந்த வகையான துல்லியமான சிலிக்கான் கார்பைடு கட்டமைப்பு பாகங்கள் தயாரிப்பு தொழில்நுட்பத்தின் தொழில்நுட்ப இடையூறுகளை உடைக்கிறது. ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உற்பத்தி சாதனங்களில் பயன்படுத்தப்படும் முக்கிய கட்டமைப்பு பகுதிகளின் உள்ளூர்மயமாக்கலை இது பெரிதும் ஊக்குவித்துள்ளது.
● சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களில் முக்கியமாக அழுத்தமில்லாத சின்டரிங் சிலிக்கான் கார்பைடு (SSiC), எதிர்வினை-சிந்தெரிக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு (RBSC), இரசாயன நீராவி படிவு சிலிக்கான் கார்பைடு (CVD-SiC) ஆகியவை அடங்கும்.
● சிலிக்கான் கார்பைடு பல்வேறு சிறந்த பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது: சூப்பர் ஹார்ட், உடைகள் எதிர்ப்பு, அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் இயந்திர வலிமை, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம், சிறந்த வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை, குறைந்த அடர்த்தி, அதிக குறிப்பிட்ட விறைப்பு, காந்தமற்றது.
● தற்போது, சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள், விமானம், விண்வெளி மற்றும் அணுசக்தித் தொழில் போன்ற பல்வேறு தொழில்களில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அதாவது சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பிரதிபலிப்பிற்கான உயர்நிலை உபகரணங்களின் பீங்கான் பாகங்கள் மற்றும் IC ஒருங்கிணைந்த சுற்று உற்பத்தி, வெப்பப் பரிமாற்றிகள் மற்றும் குண்டு துளைக்காத பொருட்கள் போன்றவை.
ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உற்பத்தி உபகரணங்களுக்கான துல்லியமான செராமிக் கட்டமைப்பு பாகங்களின் அம்சங்கள்:
① அதிக எடை குறைவானது: இயக்கம் மந்தநிலையை குறைக்க, மோட்டார் சுமை குறைக்க, இயக்க திறன் மேம்படுத்த, துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்த, கட்டமைப்பு பாகங்கள் பொதுவாக இலகுரக கட்டமைப்பு வடிவமைப்பைப் பயன்படுத்துகின்றன, இலகுரக விகிதம் 60-80%, 90% வரை;
② உயர் வடிவம்-நிலை துல்லியம்: உயர்-துல்லியமான இயக்கம் மற்றும் நிலைப்படுத்தலை அடைவதற்கு, கட்டமைப்பு பாகங்கள் மிக உயர்ந்த வடிவம் மற்றும் நிலை துல்லியம் தேவை, தட்டையான தன்மை, இணை மற்றும் செங்குத்தாக 1μm க்கும் குறைவாக இருக்க வேண்டும், மேலும் வடிவம் மற்றும் நிலை துல்லியம் 5μm க்கும் குறைவாக இருக்க வேண்டும்.
③ உயர் பரிமாண நிலைப்புத்தன்மை: உயர்-துல்லியமான இயக்கம் மற்றும் நிலைப்படுத்தலை அடைவதற்கு, கட்டமைப்பு பாகங்கள் மிகவும் உயர் பரிமாண நிலைப்புத்தன்மையைக் கொண்டிருக்க வேண்டும், திரிபு மற்றும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம், பெரிய பரிமாண சிதைவை உருவாக்க எளிதானது அல்ல. ;
④ சுத்தமான மற்றும் மாசு இல்லாத. கட்டமைப்பு பாகங்கள் மிகக் குறைந்த உராய்வு குணகம், இயக்கத்தின் போது சிறிய இயக்க ஆற்றல் இழப்பு மற்றும் அரைக்கும் துகள் மாசுபாடு ஆகியவற்றைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். சிலிக்கான் கார்பைடு பொருள் மிக உயர்ந்த மீள் மாடுலஸ், வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம், வளைக்கும் அழுத்த சிதைவு மற்றும் வெப்ப விகாரத்தை உருவாக்குவது எளிதானது அல்ல, மேலும் சிறந்த மெருகூட்டல் தன்மை கொண்டது, சிறந்த கண்ணாடியாக மாற்றப்படலாம்; எனவே, ஃபோட்டோலித்தோகிராபி இயந்திரம் போன்ற ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றுகளின் முக்கிய உபகரணங்களுக்கு சிலிக்கான் கார்பைடை துல்லியமான கட்டமைப்புப் பொருளாகப் பயன்படுத்துவது பெரும் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது, சிலிக்கான் கார்பைடு நல்ல இரசாயன நிலைப்புத்தன்மை, அதிக இயந்திர வலிமை, அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் போன்ற நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது. மற்றும் அதிக வெப்பநிலை, உயர் அழுத்தம், அரிப்பு மற்றும் தீவிர சூழல்களின் கதிர்வீச்சு ஆகியவற்றில் பயன்படுத்தப்படலாம்.
சிலிக்கான் கார்பைடு நல்ல இரசாயன நிலைத்தன்மை, அதிக இயந்திர வலிமை, அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் ஆகியவற்றின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் அதிக வெப்பநிலை, உயர் அழுத்தம், அரிப்பு மற்றும் தீவிர சூழல்களின் கதிர்வீச்சு ஆகியவற்றில் பயன்படுத்தப்படலாம்.
ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றுக்கான முக்கிய உபகரணங்களுக்கு, கூறு பொருட்கள் குறைந்த எடை, அதிக வலிமை, அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் ஆகியவற்றின் பண்புகளைக் கொண்டிருக்க வேண்டும், மேலும் குறைபாடுகள் இல்லாமல் அடர்த்தியாகவும் சீரானதாகவும் இருக்க வேண்டும். உபகரணங்களின் அதி-துல்லியமான இயக்கம் மற்றும் கட்டுப்பாட்டை உறுதிசெய்ய, கூறுகள் மிக உயர்ந்த பரிமாணத் துல்லியம் மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மையைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் அதிக மீள் மாடுலஸ் மற்றும் குறிப்பிட்ட விறைப்புத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளன, சிதைப்பது எளிதானது அல்ல, மேலும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம், உயர் வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, எனவே சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் ஒரு சிறந்த கட்டமைப்புப் பொருளாகும், தற்போது ஒருங்கிணைந்த சுற்று உற்பத்தியில் உள்ளது. சிலிக்கான் கார்பைடு வேலை செய்யும் அட்டவணையுடன் கூடிய லித்தோகிராஃபி இயந்திரம், வழிகாட்டி ரயில், பிரதிபலிப்பான், பீங்கான் சக் மற்றும் செராமிக் எண்ட் எஃபெக்டர் போன்ற பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளைப் பெறுவதற்கான முக்கிய உபகரணங்கள்.
பெரிய அளவு, வெற்று மெல்லிய சுவர், சிக்கலான அமைப்பு, துல்லியமான சிலிக்கான் கார்பைடு கட்டமைப்பு பாகங்கள் தயாரிப்பு தொழில்நுட்பம், சிலிக்கான் கார்பைடு வெற்றிட சக், வழிகாட்டி ரயில், பிரதிபலிப்பான், வேலை செய்யும் அட்டவணை போன்ற ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உற்பத்தி செய்யும் முக்கிய உபகரணங்களின் பிரதிநிதியாக Fountyl ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தை சந்திக்க முடியும். மற்றும் ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரத்திற்கான துல்லியமான சிலிக்கான் கார்பைடு கட்டமைப்பு பாகங்கள்.
| பண்புகள் | Fountyl | ||
| அடர்த்தி (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| இளம் மாடுலஸ் (GPa) | 368 | ||
| நெகிழ்வு வலிமை (MPa) | 334 | ||
| வெய்புல் | 8.35 | ||
| CTE (×10-6/℃) | 100℃ | 2.8×10-6 | |
| 400℃ | 3.6×10-6 | ||
| 800℃ | 4.2×10-6 | ||
| 1000℃ | 4.6×10-6 | ||
| வெப்ப கடத்துத்திறன்(W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| பாய்சன் விகிதம் | 0.187 | ||
| வெட்டு மாடுலஸ் (GPa) | 155 | ||