హోమ్
మెటీరియల్స్
0102030405
సిలికాన్ కార్బైడ్ తుప్పు నిరోధక భాగాలు, సీల్స్ భాగాలు, అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధక భాగాలు, గైడ్ పట్టాలు మరియు చదరపు కిరణాల కోసం ఉపయోగిస్తారు
సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్స్ సాధారణ ఉష్ణోగ్రత వద్ద అద్భుతమైన యాంత్రిక లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి, అధిక బలం, అధిక కాఠిన్యం, అధిక సాగే మాడ్యులస్, అధిక ఉష్ణ వాహకత, తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం మరియు మంచి నిర్దిష్ట దృఢత్వం మరియు ఆప్టికల్ ప్రాసెసింగ్ లక్షణాలు వంటి అద్భుతమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం. ఫోటోలిథోగ్రఫీ యంత్రం మరియు ఖచ్చితమైన సిరామిక్ నిర్మాణ భాగాల కోసం ఇతర ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ పరికరాల తయారీకి. ఫోటోలిథోగ్రఫీ మెషిన్ ప్రెసిషన్ మూవింగ్ వర్క్‌పీస్ టేబుల్, అస్థిపంజరం, చూషణ కప్పు, వాటర్-కూల్డ్ ప్లేట్ మరియు ప్రెసిషన్ మెజర్‌మెంట్ మిర్రర్, గ్రేటింగ్ మరియు ఇతర సిరామిక్ స్ట్రక్చరల్ పార్ట్స్, ఫౌంటైల్ కొత్త మెటీరియల్‌లో సంవత్సరాల సాంకేతిక పరిశోధన తర్వాత, పెద్ద పరిమాణం, సన్నని గోడను పరిష్కరించడం వంటివి ఉపయోగించబడతాయి. సిలికాన్ కార్బైడ్ స్ట్రక్చరల్ పార్ట్స్ ఖచ్చితత్వ ప్రాసెసింగ్ మరియు తయారీ సమస్యల యొక్క బోలు మరియు ఇతర సంక్లిష్ట నిర్మాణం, ఈ రకమైన ఖచ్చితత్వంతో కూడిన సిలికాన్ కార్బైడ్ నిర్మాణ భాగాల తయారీ సాంకేతికత యొక్క సాంకేతిక అడ్డంకిని ఛేదిస్తుంది. ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ తయారీ పరికరాలలో ఉపయోగించే కీలకమైన నిర్మాణ భాగాల స్థానికీకరణను ఇది బాగా ప్రోత్సహించింది.
● సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్స్‌లో ప్రధానంగా ప్రెజర్‌లెస్ సింటరింగ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ (SSiC), రియాక్షన్-సింటెర్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ (RBSC), రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ సిలికాన్ కార్బైడ్ (CVD-SiC) ఉన్నాయి.
● సిలికాన్ కార్బైడ్ అనేక అద్భుతమైన లక్షణాలను కలిగి ఉంది: సూపర్ హార్డ్, వేర్ రెసిస్టెన్స్, అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు యాంత్రిక బలం, తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం, అద్భుతమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం, తక్కువ సాంద్రత, అధిక నిర్దిష్ట దృఢత్వం, అయస్కాంతం లేనిది.
● ప్రస్తుతం, సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్‌లు సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ రిఫ్లెక్టర్ మరియు IC ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ తయారీ, హీట్ ఎక్స్ఛేంజర్‌లు మరియు బుల్లెట్ ప్రూఫ్ మెటీరియల్‌ల కోసం అత్యాధునిక పరికరాలలోని సిరామిక్ భాగాలు వంటి ఏవియేషన్, ఏరోస్పేస్ మరియు న్యూక్లియర్ పరిశ్రమ వంటి వివిధ పరిశ్రమలలో వర్తించబడుతున్నాయి.
ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ తయారీ పరికరాల కోసం ఖచ్చితమైన సిరామిక్ నిర్మాణ భాగాల లక్షణాలు:
① అత్యంత తేలికైనది: చలన జడత్వాన్ని తగ్గించడానికి, మోటారు భారాన్ని తగ్గించడానికి, చలన సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరచడానికి, స్థాన ఖచ్చితత్వం మరియు స్థిరత్వాన్ని మెరుగుపరచడానికి, నిర్మాణ భాగాలు సాధారణంగా తేలికపాటి నిర్మాణ రూపకల్పనను ఉపయోగిస్తాయి, తేలికపాటి రేటు 60-80%, 90% వరకు ఉంటుంది;
② అధిక ఫారమ్-పొజిషన్ ఖచ్చితత్వం: అధిక-ఖచ్చితమైన కదలిక మరియు స్థానాలను సాధించడానికి, నిర్మాణ భాగాలు చాలా అధిక రూపం మరియు స్థాన ఖచ్చితత్వాన్ని కలిగి ఉండాలి, ఫ్లాట్‌నెస్, సమాంతరత మరియు లంబంగా 1μm కంటే తక్కువగా ఉండాలి మరియు రూపం మరియు స్థానం ఖచ్చితత్వం 5μm కంటే తక్కువగా ఉండాలి.
③ హై డైమెన్షనల్ స్టెబిలిటీ: హై-ప్రెసిషన్ మూవ్‌మెంట్ మరియు పొజిషనింగ్ సాధించడానికి, స్ట్రక్చరల్ పార్ట్‌లు చాలా ఎక్కువ డైమెన్షనల్ స్టెబిలిటీని కలిగి ఉండాలి, స్ట్రెయిన్ ఉత్పత్తి చేయకూడదు మరియు అధిక ఉష్ణ వాహకత, తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం, పెద్ద డైమెన్షనల్ డిఫార్మేషన్‌ను ఉత్పత్తి చేయడం సులభం కాదు. ;
④ శుభ్రంగా మరియు కాలుష్య రహితంగా. నిర్మాణ భాగాలు చాలా తక్కువ ఘర్షణ గుణకం, కదలిక సమయంలో చిన్న గతి శక్తి నష్టం మరియు గ్రౌండింగ్ కణ కాలుష్యం కలిగి ఉండాలి. సిలికాన్ కార్బైడ్ మెటీరియల్ చాలా ఎక్కువ సాగే మాడ్యులస్, థర్మల్ కండక్టివిటీ మరియు తక్కువ థర్మల్ ఎక్స్‌పాన్షన్ కోఎఫీషియంట్‌ను కలిగి ఉంటుంది, బెండింగ్ స్ట్రెస్ డిఫార్మేషన్ మరియు థర్మల్ స్ట్రెయిన్‌ను ఉత్పత్తి చేయడం అంత సులభం కాదు మరియు అద్భుతమైన పాలిషబిలిటీని కలిగి ఉంటుంది, అద్భుతమైన మిర్రర్‌గా మెషిన్ చేయబడుతుంది; అందువల్ల, ఫోటోలిథోగ్రఫీ మెషిన్ వంటి ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్‌ల కీ పరికరాల కోసం సిలికాన్ కార్బైడ్‌ను ఖచ్చితమైన నిర్మాణ పదార్థంగా ఉపయోగించడం గొప్ప ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది, సిలికాన్ కార్బైడ్ మంచి రసాయన స్థిరత్వం, అధిక యాంత్రిక బలం, అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం యొక్క ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది. మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత, అధిక పీడనం, తుప్పు మరియు విపరీతమైన వాతావరణాల రేడియేషన్‌లో వర్తించవచ్చు.
సిలికాన్ కార్బైడ్ మంచి రసాయన స్థిరత్వం, అధిక యాంత్రిక బలం, అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం యొక్క ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత, అధిక పీడనం, తుప్పు మరియు విపరీత వాతావరణంలో రేడియేషన్‌లో వర్తించవచ్చు.
ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ యొక్క కీలక సామగ్రికి కాంపోనెంట్ మెటీరియల్స్ తక్కువ బరువు, అధిక బలం, అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం యొక్క లక్షణాలను కలిగి ఉండాలి మరియు లోపాలు లేకుండా దట్టమైన మరియు ఏకరీతిగా ఉండాలి. పరికరాల యొక్క అల్ట్రా-ప్రెసిషన్ కదలిక మరియు నియంత్రణను నిర్ధారించడానికి భాగాలు చాలా ఎక్కువ డైమెన్షనల్ ఖచ్చితత్వం మరియు డైమెన్షనల్ స్థిరత్వాన్ని కలిగి ఉండాలి. సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్స్ అధిక సాగే మాడ్యులస్ మరియు నిర్దిష్ట దృఢత్వాన్ని కలిగి ఉంటాయి, వికృతీకరించడం సులభం కాదు మరియు అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం, అధిక ఉష్ణ స్థిరత్వం, కాబట్టి సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్స్ ఒక అద్భుతమైన నిర్మాణ పదార్థం, ప్రస్తుతం ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ మ్యానుఫ్‌లో ఉంది. సిలికాన్ కార్బైడ్ వర్కింగ్ టేబుల్‌తో కూడిన లితోగ్రఫీ మెషిన్, గైడ్ రైల్, రిఫ్లెక్టర్, సిరామిక్ చక్ మరియు సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్ వంటి విస్తృత శ్రేణి అప్లికేషన్‌లను పొందేందుకు కీలకమైన పరికరాలు.
ఫౌంటైల్ పెద్ద పరిమాణం, బోలు సన్నని గోడ, సంక్లిష్ట నిర్మాణం, ఖచ్చితమైన సిలికాన్ కార్బైడ్ నిర్మాణ భాగాల తయారీ సాంకేతికత వంటి ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ తయారీ కీ పరికరాల ప్రతినిధిగా ఫోటోలిథోగ్రఫీ యంత్రాన్ని కలుసుకోగలదు: సిలికాన్ కార్బైడ్ వాక్యూమ్ చక్, గైడ్ రైలు, రిఫ్లెక్టర్, వర్కింగ్ టేబుల్ మరియు ఫోటోలిథోగ్రఫీ యంత్రం కోసం ఖచ్చితమైన సిలికాన్ కార్బైడ్ నిర్మాణ భాగాల శ్రేణి.
| లక్షణాలు | ఫౌంటైల్ | ||
| సాంద్రత (గ్రా/సెం3) | 2.98-3.02 | ||
| యంగ్స్ మాడ్యులస్ (GPa) | 368 | ||
| ఫ్లెక్చరల్ బలం (MPa) | 334 | ||
| వీబుల్ | 8.35 | ||
| CTE (×10-6/℃) | 100℃ | 2.8×10-6 | |
| 400℃ | 3.6×10-6 | ||
| 800℃ | 4.2×10-6 | ||
| 1000℃ | 4.6×10-6 | ||
| ఉష్ణ వాహకత(W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| పాయిజన్ యొక్క నిష్పత్తి | 0.187 | ||
| కోత మాడ్యులస్ (GPa) | 155 | ||