ตัวดูดไฟฟ้าสถิตหรือที่เรียกว่าหัวจับไฟฟ้าสถิต (ESC, e-Chuck) เป็นฟิกซ์เจอร์ที่ใช้หลักการดูดซับไฟฟ้าสถิตเพื่อยึดและยึดวัตถุที่ถูกดูดซับ เหมาะสำหรับ...
คุณลักษณะของคุณภาพคริสตัลคุณภาพสูงของชั้น epitaxial SiC ทำให้ชั้น epitaxis ควรมีโครงสร้างผลึกที่มีความบริสุทธิ์สูงและมีความหนาแน่นของข้อบกพร่องต่ำเพื่อให้มั่นใจในความน่าเชื่อถือ ...