คุณลักษณะของคุณภาพคริสตัลคุณภาพสูงของชั้น epitaxial SiC ทำให้ชั้น epitaxis ควรมีโครงสร้างผลึกที่มีความบริสุทธิ์สูงและมีความหนาแน่นของข้อบกพร่องต่ำเพื่อให้มั่นใจในความน่าเชื่อถือ ...
ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ถือเป็นวัสดุทางเลือกสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ที่ใช้ซิลิกอน (Si) ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ เนื่องจากมีช่องว่างแถบกว้าง มีความแข็งแรงเชิงกลสูง และมี...
