Epitaxy หมายถึงการเติบโตของคริสตัลหรือการสะสมของวัสดุซึ่งมีตำแหน่งที่สำคัญอย่างยิ่งในกระบวนการผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์
เทคโนโลยี CMP (การขัดเงาด้วยกลไกเคมี) เป็นกระบวนการสำคัญในการบรรลุพื้นผิวแผ่นเวเฟอร์ที่สม่ำเสมอและสม่ำเสมอทั่วโลกในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
