ข้อดีประการหนึ่งของ EUV คือการลดขั้นตอนการประมวลผลชิป และการใช้ EUV แทนเทคโนโลยีการสัมผัสหลายครั้งแบบเดิมจะช่วยลดขั้นตอนการสะสม การกัด และ ...
ในกระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์ แผ่นเวเฟอร์จะต้องได้รับความร้อนจนถึงอุณหภูมิที่กำหนด และความสม่ำเสมอของอุณหภูมิแผ่นเวเฟอร์มีข้อกำหนดที่เข้มงวดมาก เนื่องจากอุณหภูมิของแผ่นเวเฟอร์มีความสม่ำเสมอ...
