เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ใช้ในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์/วงจรรวม

เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์มีบทบาทสำคัญในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์/วงจรรวม เนื่องจากมีคุณสมบัติทางกายภาพและทางเคมีที่เป็นเอกลักษณ์ อย่างไรก็ตามควรสังเกตว่าในปัจจุบันการวิจัยและพัฒนาและการประยุกต์ใช้ชิ้นส่วนโครงสร้างเซรามิกที่มีความแม่นยำสำหรับอุปกรณ์แกนวงจรรวมส่วนใหญ่กระจุกตัวอยู่ในสหรัฐอเมริกา ญี่ปุ่น ยุโรปและสถานที่อื่น ๆ และยังคงอยู่ในตำแหน่งผูกขาดโดยสิ้นเชิง . ดังนั้น จีนยังคงต้องการการวิจัยและการพัฒนาเพิ่มเติมในด้านวัสดุเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์และเทคโนโลยีการเตรียมที่เกี่ยวข้อง

1, กหัวจับเจียรและขัดเงา

ในกระบวนการผลิตหัวจับขัดซิลิกอนคาร์ไบด์ วัสดุเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์จะถูกแปรรูปเป็นรูปร่างของหัวจับ และผ่านการบำบัดด้วยกระบวนการพิเศษ เพื่อให้พื้นผิวมีคุณสมบัติในการเจียรและขัดเงาที่ดีเยี่ยม เมื่อใช้ หัวจับจะบดและขัดพื้นผิวของชิ้นงานโดยการดูดซับพื้นผิวของชิ้นงานโดยใช้ความแข็งและความคมของเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์เพื่อขจัดสิ่งสกปรกเช่นเสี้ยนและออกไซด์บนพื้นผิวและปรับปรุงการตกแต่งและความแม่นยำของ พื้นผิวของชิ้นงาน

คุณสมบัติหลักของหัวจับเจียรและขัดเงาซิลิกอนคาร์ไบด์ ได้แก่ :

o ความแข็งสูง: เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์มีความแข็งสูงมาก รองจากเพชรเท่านั้น จึงสามารถดำเนินการเจียรและขัดเงาได้อย่างมีประสิทธิภาพเพื่อขจัดข้อบกพร่องและสิ่งผิดปกติบนพื้นผิวของวัสดุ

o ความต้านทานการสึกหรอสูง: ความแข็งสูงของเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ยังให้ความต้านทานการสึกหรอที่ดี ซึ่งสามารถรักษาการสึกหรอเล็กน้อยในระหว่างกระบวนการเจียรและขัดเงาที่ยาวนาน และปรับปรุงอายุการใช้งานของเครื่องมือ

o เสถียรภาพทางความร้อนสูง: เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์มีเสถียรภาพทางความร้อนสูงและมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ สามารถรักษาประสิทธิภาพที่มั่นคงในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง เหมาะสำหรับการเจียรและขัดเงาที่อุณหภูมิสูง

o ความเสถียรทางเคมีที่ดี: เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์มีความคงตัวที่ดีต่อสารเคมีส่วนใหญ่ ไม่สึกกร่อนและกัดเซาะง่าย และสามารถรักษาประสิทธิภาพการทำงานที่มั่นคงในสภาพแวดล้อมที่หลากหลาย

2, การพิมพ์หินเชย

หัวจับการพิมพ์หินซิลิคอนคาร์ไบด์มีบทบาทสำคัญในกระบวนการผลิตวงจรรวม โดยสามารถให้การตรึงและการสนับสนุนเวเฟอร์ซิลิคอนที่มีความเสถียรและมีความแม่นยำสูง เพื่อให้มั่นใจว่ากระบวนการพิมพ์หินจะดำเนินไปอย่างราบรื่น ซึ่งจะช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิตและคุณภาพของวงจรรวม

ควรสังเกตว่าหัวจับการพิมพ์หินซิลิกอนคาร์ไบด์เป็นองค์ประกอบสำคัญในการผลิตวงจรรวม และความต้องการด้านเทคโนโลยีการผลิตและความแม่นยำนั้นสูงมาก ปัจจุบัน มีบริษัทต่างชาติเพียงไม่กี่บริษัทเท่านั้นที่สามารถผลิตหัวจับพิมพ์หินเพื่อตอบสนองความต้องการของการผลิตวงจรรวม และเทคโนโลยีและผลิตภัณฑ์ของจีนในด้านนี้จำเป็นต้องได้รับการพัฒนาและปรับปรุงเพิ่มเติม

คุณสมบัติหลักของหัวจับการพิมพ์หินซิลิคอนคาร์ไบด์ประกอบด้วย:

o ความแม่นยำสูง: เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์มีความแข็งและความแม่นยำสูงมาก ซึ่งสามารถตอบสนองความต้องการในการตรึงและการรองรับที่มีความแม่นยำสูงของเวเฟอร์ซิลิคอนในกระบวนการผลิตวงจรรวม

o ความเสถียรสูง: เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์มีเสถียรภาพทางความร้อนสูงและมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ ซึ่งสามารถรักษาขนาดและรูปร่างที่มั่นคงในระหว่างกระบวนการพิมพ์หินเพื่อหลีกเลี่ยงผลกระทบต่อความแม่นยำของการพิมพ์หิน

o ความเสถียรทางเคมีที่ดี: เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์มีความคงตัวที่ดีต่อสารเคมีส่วนใหญ่ ไม่สึกกร่อนและกัดเซาะง่าย และสามารถรักษาประสิทธิภาพที่มั่นคงในระหว่างกระบวนการพิมพ์หิน

o แรงดูดซับสูง: เครื่องดูดการพิมพ์หินซิลิคอนคาร์ไบด์ใช้เทคโนโลยีการดูดซับแบบพิเศษ ซึ่งสามารถดูดซับเวเฟอร์ซิลิคอนได้อย่างแน่นหนาเพื่อให้แน่ใจว่ามันจะไม่ขยับหรือสั่นไหวในระหว่างกระบวนการพิมพ์หิน ทำให้มั่นใจในความแม่นยำและความเสถียรของการพิมพ์หิน

3, การตรวจจับเชย

หัวจับซิลิกอนคาร์ไบด์ช่วยให้กระบวนการตรวจจับมีความคืบหน้าได้อย่างราบรื่น ซึ่งจะช่วยปรับปรุงคุณภาพการผลิตของวงจรรวม ในขณะเดียวกัน อายุการใช้งานของหัวจับซิลิกอนคาร์ไบด์นั้นยาวนาน ซึ่งสามารถลดต้นทุนการผลิตและค่าบำรุงรักษา และปรับปรุงผลประโยชน์ทางเศรษฐกิจโดยรวม

4 แพลตฟอร์มการเคลื่อนไหวที่แม่นยำ

แพลตฟอร์มการเคลื่อนไหวที่มีความแม่นยำของซิลิคอนคาร์ไบด์มีบทบาทสำคัญในด้านการผลิตและการแปรรูปที่มีความแม่นยำสูงต่างๆ โดยสามารถมอบโซลูชันการควบคุมการเคลื่อนไหวที่มีความแม่นยำสูงและมีเสถียรภาพสูงสำหรับการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ การผลิตเชิงแสง นาโนเทคโนโลยี และสาขาอื่นๆ เพื่อปรับปรุงคุณภาพผลิตภัณฑ์และประสิทธิภาพการผลิต

คุณสมบัติหลักของแพลตฟอร์มการเคลื่อนที่ที่แม่นยำของซิลิคอนคาร์ไบด์ประกอบด้วย:

o ความแม่นยำสูง: เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์มีความแข็งและความแม่นยำสูงมาก ซึ่งสามารถตอบสนองความต้องการที่มีความแม่นยำสูงของแท่นการเคลื่อนไหว และรับประกันความเสถียรและความแม่นยำของแท่นในระหว่างการเคลื่อนที่

o ความเสถียรสูง: เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์มีเสถียรภาพทางความร้อนสูงและมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ ซึ่งสามารถรักษาประสิทธิภาพที่มั่นคงในอุณหภูมิสูงและสภาพแวดล้อมที่รุนแรง ลดการเสียรูปของมิติและข้อผิดพลาดทางความร้อน และรับประกันความเสถียรในระยะยาวของแพลตฟอร์ม

o น้ำหนักเบา: เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์มีความหนาแน่นต่ำและมีความแข็งแรงสูง ซึ่งสามารถตระหนักถึงการออกแบบที่มีน้ำหนักเบาของแพลตฟอร์ม ลดความเฉื่อยในการเคลื่อนที่ ลดภาระของมอเตอร์ และปรับปรุงการตอบสนองแบบไดนามิกและการเร่งความเร็วของแพลตฟอร์ม

o ความต้านทานการสึกหรอสูง: เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์มีความต้านทานการสึกหรอที่ดีเยี่ยม สามารถต้านทานการเคลื่อนไหวที่ความเร็วสูงและการสึกหรอที่หนักหน่วง ช่วยยืดอายุการใช้งานของแพลตฟอร์ม

5,ชิ้นส่วนซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงสำหรับการกัดข้อต่อ 

ในกระบวนการกัดเซาะ ส่วนประกอบของซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีบทบาทสำคัญ ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีคุณสมบัติทางกายภาพและทางเคมีที่ดีเยี่ยม เช่น ความแข็งสูง ความเสถียรทางความร้อนสูง ความเสถียรทางเคมีที่ดี และปฏิกิริยาต่ำ ซึ่งทำให้เป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการแกะสลักอุปกรณ์

ชิ้นส่วนซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีบทบาทสำคัญ ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีคุณสมบัติทางกายภาพและทางเคมีที่ดีเยี่ยม เช่น ความแข็งสูง ความเสถียรทางความร้อนสูง ความเสถียรทางเคมีที่ดี และปฏิกิริยาต่ำ ซึ่งทำให้เป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการแกะสลักอุปกรณ์

ในอุปกรณ์กัดพลาสม่า ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงมักใช้ในการผลิตส่วนประกอบสำคัญ เช่น วงแหวนโฟกัส หัวสเปรย์แก๊ส พาเลท วงแหวนขอบ ช่องที่กัดร่อง หัวฉีดแก๊สกัด ฯลฯ ส่วนประกอบเหล่านี้มีบทบาทสำคัญในกระบวนการกัดเซาะ เช่น วงแหวนปรับโฟกัสเพื่อให้แน่ใจว่ามีการกระจายพลาสม่าสม่ำเสมอ หัวสเปรย์แก๊สเพื่อควบคุมการฉีดแก๊สอย่างแม่นยำ ถาดและวงแหวนขอบเพื่อรองรับและทำให้แผ่นเวเฟอร์ที่จะแกะสลักมีความเสถียร

ชิ้นส่วนซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีความเสถียรที่ดีในสภาพแวดล้อมที่มีก๊าซกัดกร่อนคลอรีนและฟลูออรีน และปฏิกิริยาที่ต่ำสามารถลดการกัดกร่อนและความเสียหายต่ออุปกรณ์ได้อย่างมีประสิทธิภาพในระหว่างกระบวนการกัดกร่อน นอกจากนี้ ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงยังมีค่าการนำไฟฟ้าใกล้เคียงกับซิลิคอน ซึ่งช่วยให้นำกระแสได้อย่างมีประสิทธิภาพในระหว่างกระบวนการกัด ทำให้มั่นใจได้ถึงความสม่ำเสมอและความสม่ำเสมอของการกัด

ด้วยความก้าวหน้าอย่างต่อเนื่องของการผลิตวงจรรวม ข้อกำหนดสำหรับเทคโนโลยีการแกะสลักจึงมีมากขึ้นเรื่อยๆ ส่วนประกอบซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง พร้อมด้วยประสิทธิภาพและความเสถียรที่ยอดเยี่ยม เป็นหนึ่งในกุญแจสำคัญในการตอบสนองข้อกำหนดเหล่านี้ ด้วยการพัฒนาเทคโนโลยีอย่างต่อเนื่อง การใช้ซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงในกระบวนการแกะสลักจะกว้างขวางมากขึ้นเรื่อยๆ

6, ระบบการเคลื่อนไหวที่แม่นยำในการตรวจสอบบรรจุภัณฑ์

ในการควบคุมการเคลื่อนไหวด้วยความเร็วสูงและมีความแม่นยำสูง ความแข็งสูงและแรงเสียดทานต่ำของเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์สามารถลดการสึกหรอและแรงเสียดทาน และปรับปรุงความเสถียรและอายุการใช้งานของระบบ ในเวลาเดียวกัน ในกระบวนการตรวจสอบบรรจุภัณฑ์ การเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิอาจส่งผลกระทบต่อระบบการเคลื่อนที่ที่มีความแม่นยำ และการใช้เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์สามารถลดผลกระทบนี้ได้อย่างมีประสิทธิภาพ และปรับปรุงความน่าเชื่อถือและเสถียรภาพของระบบ

ระบบการเคลื่อนที่ที่แม่นยำของเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ในบรรจุภัณฑ์และจุดเชื่อมต่อการทดสอบประกอบด้วยส่วนประกอบสำคัญ เช่น รางนำ ตลับลูกปืน และบล็อกสไลด์ ความแม่นยำในการผลิตและประสิทธิภาพของส่วนประกอบเหล่านี้ส่งผลโดยตรงต่อความเสถียรและความแม่นยำของระบบการเคลื่อนไหวทั้งหมด ดังนั้นเทคโนโลยีการประมวลผลที่มีความแม่นยำสูงและเทคโนโลยีการปรับสภาพพื้นผิวของเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์จึงมีความสำคัญเช่นกัน

นอกจากนี้ เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ยังใช้สำหรับระบบการเคลื่อนไหวที่มีความแม่นยำในกระบวนการตรวจสอบบรรจุภัณฑ์ในการผลิต เช่น การจัดตำแหน่งและการประกอบระหว่างการบรรจุชิป

เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์มีบทบาทสำคัญในระบบการเคลื่อนที่ที่แม่นยำของการตรวจสอบบรรจุภัณฑ์ ด้วยความก้าวหน้าอย่างต่อเนื่องของเทคโนโลยีและการขยายขอบเขตการใช้งาน การใช้งานเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ในระบบการเคลื่อนไหวที่มีความแม่นยำจะกว้างขวางมากขึ้นเรื่อยๆ

FOUNTYL TECHNOLOGIES PTE. บจก. เป็นองค์กรที่ทันสมัยในด้านการวิจัยและพัฒนาชุดเซรามิกขั้นสูง การผลิตและการขายเป็นหนึ่ง ส่วนใหญ่ผลิตเซรามิกที่มีรูพรุน อลูมินา เซอร์โคเนีย ซิลิคอนไนไตรด์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ อลูมิเนียมไนไตรด์ เซรามิกไดอิเล็กทริกไมโครเวฟ และวัสดุเซรามิกขั้นสูงอื่น ๆ ผู้เชี่ยวชาญด้านเทคโนโลยีจากญี่ปุ่นที่ได้รับเชิญเป็นพิเศษของเรามีประสบการณ์ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์มากกว่า 30 ปี ให้บริการโซลูชั่นการใช้งานเซรามิกพิเศษได้อย่างมีประสิทธิภาพ ทนต่อการสึกหรอ ทนต่อการกัดกร่อน ทนต่ออุณหภูมิสูง ค่าการนำความร้อนสูง เป็นฉนวนสำหรับลูกค้าในประเทศและต่างประเทศ