การวิเคราะห์ตลาดอุปกรณ์ทำความสะอาด/เปียกสำหรับการทำความสะอาดเวเฟอร์

กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมดจำเป็นต้องได้รับการทำความสะอาดซ้ำๆ และกระบวนการทำความสะอาดดำเนินไปในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งคิดเป็นสัดส่วนมากกว่า 30% ของกระบวนการผลิตทั้งหมด จากการวิเคราะห์มูลค่าส่งออกของตลาดอุปกรณ์อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด อุปกรณ์การประมวลผลเวเฟอร์คิดเป็น 80% และมูลค่าการผลิตรวมของขั้นตอนการทำความสะอาดคิดเป็นประมาณ 33% ของอุปกรณ์การประมวลผลเวเฟอร์ และอุปกรณ์ทำความสะอาดมีบทบาท ผลกระทบที่สำคัญต่ออัตราการส่งผ่านและผลประโยชน์ทางเศรษฐกิจของสายการผลิต

จากข้อมูลของ SEMI พื้นที่ตลาดอุปกรณ์ทำความสะอาดเวเฟอร์ทั่วโลกอยู่ที่ 3.7 พันล้านดอลลาร์ในปี 2020 คิดเป็น 5% ของอุปกรณ์ทั้งหมด หนึ่งในนั้นคือ Screen Electronics Co. ซึ่งเป็นสามอันดับแรกในตลาดอุปกรณ์ทำความสะอาดแผ่นเวเฟอร์ , Ltd. เมื่อรวมกันแล้ว Screen, Tokyo Electron Limited (TEL) และ Lam Research Corporation (Lam) คิดเป็นร้อยละ 87.7 ของตลาดอุปกรณ์ทำความสะอาดแผ่นเวเฟอร์ รายงานการวิจัยเชิงลึกในอุตสาหกรรมอุปกรณ์ทำความสะอาดเซมิคอนดักเตอร์ของ Guangfa Securities แสดงให้เห็นว่าในปี 2019 ความต้องการเครื่องทำความสะอาดเมกะไบต์ทั่วโลกอยู่ที่ 221 เครื่อง และมีเพียงตลาดเครื่องทำความสะอาดเมกะซาวด์เท่านั้นที่มีมูลค่าถึง 663 ล้านดอลลาร์ Naura Chuang ถึงเทคโนโลยีบริสุทธิ์คิดเป็นสัดส่วนน้อยกว่า 1% ด้วยการถ่ายโอนอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ไปยังประเทศจีน พื้นที่ตลาดในประเทศก็เพิ่มขึ้น ทรัพยากรของลูกค้าที่มีศักยภาพก็มีมากมาย และเครื่องทำความสะอาดจำเป็นต้องครอบคลุมกระบวนการภายในประเทศล่าสุด ตามการคาดการณ์ของ Guangfa Securities ในช่วง 5 ปีตั้งแต่ปี 2019-2023 พื้นที่ตลาดอุปกรณ์ทำความสะอาดของบริษัทบนแผ่นดินใหญ่จะมีมูลค่ามากกว่า 4 หมื่นล้านหยวน ตารางนี้คือส่วนแบ่งตลาดเครื่องทำความสะอาดแบบเปียกและส่วนแบ่งตลาดในประเทศซึ่งวัดโดยหลักทรัพย์ GF

บริษัทเป็นผู้นำระดับโลกในด้านอุปกรณ์ทำความสะอาด โดยส่วนแบ่งตลาดอุปกรณ์ทำความสะอาดเซมิคอนดักเตอร์ทั่วโลกร้อยละ 45.1 ตามข้อมูลของ SEMI โดยรายได้ร้อยละ 60 มาจากน้ำยาทำความสะอาด SU3200 ที่สามารถใช้ในกระบวนการ 7 นาโนเมตร บริษัทก่อตั้งขึ้นในปี พ.ศ. 2411 และได้พัฒนาอุปกรณ์ทำความสะอาดเวเฟอร์รุ่นแรกในปี พ.ศ. 2518 ในอีก 40 ปีต่อมา บริษัทมุ่งเน้นไปที่การวิจัยและพัฒนาและส่งเสริมอุปกรณ์ทำความสะอาดเวเฟอร์ โดยจัดหาอุปกรณ์ทำความสะอาดเซมิคอนดักเตอร์ในญี่ปุ่นและทั่วโลก ส่วนแบ่งการตลาดของอุปกรณ์ทำความสะอาดที่สำคัญที่สุดสามประเภท ได้แก่ อุปกรณ์ทำความสะอาดแผ่นเวเฟอร์เดี่ยว โต๊ะทำความสะอาดอัตโนมัติ และเครื่องซักผ้า ครองอันดับหนึ่งของโลก และเป็นผู้นำด้านเทคโนโลยีอุปกรณ์ทำความสะอาด ปัจจุบันบริษัทมีสำนักงานใหญ่ในญี่ปุ่น และมีสาขาในสหรัฐอเมริกา ยุโรป เกาหลีใต้ และปักกิ่ง เทียนจิน อู๋ซี อู่ฮั่น ต้าเหลียน เซินเจิ้น และไต้หวันในประเทศจีน เครือข่ายการขายอุปกรณ์ทำความสะอาดครอบคลุม Intel, TSMC, Samsung, SK Hynix, SMIC, Huahong และบริษัทยักษ์ใหญ่ระดับโลกอื่นๆ

อุปกรณ์ทำความสะอาดเจเนอเรชันล่าสุดคือ SU-3300 ซึ่งได้มาจากซีรีส์ SU ที่โดดเด่นมายาวนาน โดยเริ่มจาก SU-2000, SU-3100, SU-3200, ซีรีส์ SU ถือเป็นแนวหน้าของกระบวนการชิปที่ใช้ใน เครื่องทำความสะอาดระดับไฮเอนด์ ตามที่แสดงในภาพ-

Tokyo Electronics เป็นบริษัทอุปกรณ์ทำความสะอาดเวเฟอร์ที่ใหญ่เป็นอันดับสองรองจาก Dean โดย ณ เดือนมิถุนายน 2020 บริษัทมียอดขายอุปกรณ์ทำความสะอาดมากกว่า 62,000 ชุดทั่วโลก และเป็นบริษัทแรกที่ผลิตเวเฟอร์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษอย่างต่อเนื่อง 11 ชิ้น Tokyo Electronics ก่อตั้งขึ้นเมื่อปี พ.ศ. 2506 โดยควบรวมกิจการกับ Thermco Products Corp ในปี พ.ศ. 2511 เพื่อเป็นผู้ผลิตอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์รายแรกในญี่ปุ่น และเริ่มออกแบบและผลิตอุปกรณ์ทำความสะอาดแผ่นเวเฟอร์ในปีเดียวกัน และกลายเป็นซัพพลายเออร์อุปกรณ์ทำความสะอาดชั้นนำในปี พ.ศ. 2524 ในปี พ.ศ. 2532- พ.ศ. 2534 แซงหน้าคณบดีเป็นแชมป์อุปกรณ์ทำความสะอาดถึงสามครั้งติดต่อกัน ในอีกสองทศวรรษต่อมา โตเกียวอิเล็กทรอนิกส์ยังได้รับการจัดอันดับที่สองอย่างมั่นคงในบัลลังก์อุปกรณ์ทำความสะอาดเวเฟอร์ของโลก

ผลิตภัณฑ์อุปกรณ์ทำความสะอาดเจเนอเรชันล่าสุดของ Tokyo Electron คือ CELLESTA SCD ผลิตภัณฑ์ซีรีส์ CELLESTA ใช้กันอย่างแพร่หลายในการทำความสะอาดเวเฟอร์ซิลิคอนในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ รวมถึงชิปขนาดเล็ก ชิปลอจิกที่ซับซ้อน และ DRAM หน่วยความจำที่ใช้ใน PC หรือ NB ตามที่แสดงในภาพ:

Pangilin Semiconductor เป็นผลงานการผลิตของบริษัทเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์ของ David K. Lam ซึ่งก่อตั้งขึ้นในปี 1980 และมีสำนักงานใหญ่ในซิลิคอนแวลลีย์ รัฐแคลิฟอร์เนีย และเป็นหนึ่งในซัพพลายเออร์ชั้นนำของโลกในด้านการผลิตและบริการแผ่นเวเฟอร์ โดยมีส่วนแบ่งโดยรวมเป็นอันดับสองรองจาก ASML และ AMAT เท่านั้น ที่สามในโลก ในด้านอุปกรณ์ทำความสะอาดเวเฟอร์ บริษัท Panglin Semiconductor Company ยังอยู่ในอันดับที่ 3 ของโลก รองจาก Dean และ Tokyo Electronics Company ซึ่งคิดเป็นประมาณ 12.5% ​​ของตลาดโลกในปี 2019

อุปกรณ์ทำความสะอาด Pan Forest รุ่นล่าสุดคือ Coronus HP

ดังที่แสดงในภาพ ระบบทำความสะอาดแผ่นเวเฟอร์นี้ใช้เทคโนโลยีการกักเก็บด้วยพลาสมาเพื่อปกป้องพื้นที่ชิปอย่างมีประสิทธิภาพ การกำจัดชั้นฟิล์มบางและสารตกค้างของวัสดุต่างๆ ในแหล่งกำเนิด และการกำจัดวัสดุที่ไม่ต้องการออกจากขอบเวเฟอร์แบบเลือกสรรสามารถปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิตและปรับปรุงผลผลิตของผลิตภัณฑ์ได้ ฟิล์มโลหะสามารถกำจัดออกได้ ซึ่งสามารถป้องกันการเกิดส่วนโค้งในขั้นตอนพลาสมาตามมาได้

เซมิคอนดักเตอร์มีเทคโนโลยีหลักที่พัฒนาขึ้นเองสองเทคโนโลยี -SAPS (ช่องว่างสลับกัน การเปลี่ยนเฟส) และเทคโนโลยีการทำความสะอาด TEBO (การสั่นของฟองอากาศตามเวลาที่เหมาะสม) ทั้งสองได้แก้ไขปัญหาความสม่ำเสมอในการกระจายพลังงานเมกะซาวด์และพลังงานทำลายล้าง และมีสิทธิบัตรและเทคโนโลยีหลักจำนวนหนึ่งในด้านการทำความสะอาดเมกะซาวด์ เพื่อตอบสนองต่อน้ำเสียกรดซัลฟิวริกที่มีความเข้มข้นสูงและบำบัดยากจำนวนมากที่ปล่อยออกมาในระหว่างกระบวนการผลิตชิป Sheng Mei ได้คิดค้นอุปกรณ์ทำความสะอาดกรดซัลฟิวริกอุณหภูมิสูงเครื่องแรกโดยเฉพาะ - UltracTahoe คุณลักษณะของอุปกรณ์นี้คือการลด ปริมาณกรดซัลฟิวริกที่ใช้ถึง 90% ช่วยลดผลกระทบของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ที่มีต่อสิ่งแวดล้อม

ดังแสดงในรูป ในมุมมองของปัญหาที่เทคโนโลยีการทำความสะอาดสล็อตแบบดั้งเดิมไม่สะอาดเพียงพอในกระบวนการที่ต่ำกว่า 28 นาโนเมตร UltracTahoe ได้พัฒนาอุปกรณ์ทำความสะอาดแบบรวมเจเนอเรชั่นใหม่โดยการทำความสะอาดชิปในช่องแรก จากนั้นจึงใช้หลักการของการทำความสะอาดชิ้นเดียว ซึ่งสามารถนำกรดซัลฟิวริกกลับมาใช้ใหม่ได้และให้ผลการทำความสะอาดที่มีความชัดเจนสูง ซึ่งสามารถลดมลภาวะต่อสิ่งแวดล้อมและประหยัดต้นทุนได้มาก

Fountyl Technologies PTE จำกัด-เป็นมุ่งเน้นไปที่อุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลัก ผลิตภัณฑ์ประกอบด้วย: หัวจับแบบ Pin Chuck, หัวจับเซรามิกที่มีรูพรุน, ปลายเซรามิกเอฟเฟกต์,เซรามิกคานสี่เหลี่ยม,แกนเซรามิคยินดีต้อนรับสู่ติดต่อและเจรจาต่อรอง-