Epitaxy หมายถึงการเติบโตของคริสตัลหรือการสะสมของวัสดุซึ่งมีตำแหน่งที่สำคัญอย่างยิ่งในกระบวนการผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์
ในสาขาเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์ที่มีการพัฒนาอย่างรวดเร็ว การสะสมไอทางกายภาพ (PVD) เป็นเครื่องมือสำคัญในการบรรลุความแม่นยำและประสิทธิภาพของกระบวนการสะสมฟิล์มบาง กระดาษชุดนี้...