Bahay
Mga materyales
0102030405
Silicon carbide na ginagamit para sa corrosion resistant parts, seal parts, high temperature resistant parts, guide rail at square beam
Ang Silicon carbide ceramics ay may mahusay na mekanikal na mga katangian sa normal na temperatura, tulad ng mataas na lakas, mataas na tigas, mataas na elastic modulus, mahusay na mataas na temperatura na katatagan, tulad ng mataas na thermal conductivity, mababang thermal expansion coefficient, at mahusay na tiyak na stiffness at optical processing properties, lalo na angkop. para sa paghahanda ng photolithography machine at iba pang integrated circuit equipment para sa precision ceramic structural parts. Tulad ng ginamit sa photolithography machine precision moving workpiece table, skeleton, suction cup, water-cooled plate at precision measurement mirror, grating at iba pang ceramic structural parts, Fountyl bagong materyal pagkatapos ng mga taon ng teknikal na pananaliksik, lutasin ang malaking sukat, manipis na pader, guwang at iba pang kumplikadong istraktura ng silikon karbid istruktura bahagi katumpakan pagproseso at paghahanda problema, paglabag sa pamamagitan ng teknikal na bottleneck ng ganitong uri ng katumpakan silikon karbid istruktura bahagi teknolohiya paghahanda. Lubos nitong itinaguyod ang lokalisasyon ng mga pangunahing bahagi ng istruktura na ginagamit sa integrated circuit manufacturing equipment.
● Pangunahing kasama sa silicone carbide ceramics ang pressureless sintering silicon carbide (SSiC), reaction-sintered silicon carbide (RBSC), chemical vapor deposition silicon carbide (CVD-SiC).
● Ang Silicon carbide ay may iba't ibang mahusay na katangian: sobrang hirap, wear resistance, mataas na thermal conductivity at mekanikal na lakas, mababang thermal expansion coefficient, mahusay na thermal stability, mababang density, mataas na tiyak na higpit, non-magnetic.
● Sa kasalukuyan, ang silicon carbide ceramics ay inilalapat sa iba't ibang industriya tulad ng aviation, aerospace at nuclear industry, tulad ng mga ceramic na bahagi ng high-end na kagamitan para sa silicon carbide ceramic reflector at IC integrated circuit manufacturing, heat exchanger at bulletproof na materyales sa ilalim ng matinding mga kondisyon.
Mga tampok ng precision ceramic structural parts para sa integrated circuit manufacturing equipment:
① Highly lightweight: Upang mabawasan ang motion inertia, bawasan ang motor load, pagbutihin ang motion efficiency, positioning accuracy at stability, ang mga structural parts ay karaniwang gumagamit ng magaan na disenyo ng istraktura, ang lightweight rate ay 60-80%, hanggang 90%;
② Mataas na katumpakan ng posisyon sa anyo: Upang makamit ang mataas na katumpakan na paggalaw at pagpoposisyon, ang mga bahagi ng istruktura ay kinakailangang magkaroon ng napakataas na katumpakan ng anyo at posisyon, ang flatness, parallelism at perpendicularity ay kailangang mas mababa sa 1μm, at ang anyo at ang katumpakan ng posisyon ay kinakailangan na mas mababa sa 5μm.
③ Mataas na dimensional na katatagan: Upang makamit ang mataas na katumpakan na paggalaw at pagpoposisyon, ang mga bahagi ng istruktura ay kinakailangang magkaroon ng napakataas na dimensional na katatagan, hindi upang makagawa ng strain, at mataas na thermal conductivity, mababang thermal expansion coefficient, hindi madaling makagawa ng malaking dimensional na deformation ;
④ Malinis at walang polusyon. Ang mga bahagi ng istruktura ay kinakailangang magkaroon ng napakababang friction coefficient, maliit na kinetic energy na pagkawala sa panahon ng paggalaw, at walang nakakagiling na polusyon ng particle. Silicon carbide material ay may napakataas na elastic modulus, thermal conductivity at mababang thermal expansion coefficient, hindi madaling makagawa ng bending stress deformation at thermal strain, at may mahusay na polishability, maaaring makinang sa mahusay na salamin; Samakatuwid, Ito ay may mahusay na mga pakinabang upang gamitin ang silicon carbide bilang ang precision structural material para sa mga pangunahing kagamitan ng integrated circuits tulad ng photolithography machine, Silicon carbide ay may mga pakinabang ng mahusay na katatagan ng kemikal, mataas na mekanikal na lakas, mataas na thermal conductivity at mababang thermal expansion coefficient, at maaaring ilapat sa mataas na temperatura, mataas na presyon, kaagnasan at radiation ng matinding kapaligiran.
Ang Silicon carbide ay may mga pakinabang ng mahusay na katatagan ng kemikal, mataas na mekanikal na lakas, mataas na thermal conductivity at mababang thermal expansion coefficient, at maaaring ilapat sa mataas na temperatura, mataas na presyon, kaagnasan at radiation ng matinding kapaligiran.
Ang pangunahing kagamitan ng integrated circuit ay nangangailangan na ang mga sangkap na materyales ay may mga katangian ng magaan ang timbang, mataas na lakas, mataas na thermal conductivity at mababang thermal expansion coefficient, at siksik at pare-parehong walang mga depekto. Ang mga bahagi ay kinakailangan na magkaroon ng napakataas na katumpakan ng dimensyon at katatagan ng dimensyon upang matiyak ang ultra-precision na paggalaw at kontrol ng kagamitan. Ang silicone carbide ceramics ay may mataas na elastic modulus at specific stiffness, hindi madaling ma-deform, at may mataas na thermal conductivity at mababang thermal expansion coefficient, mataas na thermal stability, kaya ang silicon carbide ceramics ay isang mahusay na structural material, kasalukuyang nasa integrated circuit manufacturing ng pangunahing kagamitan upang makakuha ng malawak na hanay ng mga aplikasyon, tulad ng makinang lithography na may mesa ng pagtatrabaho ng silicon carbide, guide rail, reflector, ceramic chuck, at ceramic end effector.
Maaaring matugunan ng Fountyl ang photolithography machine bilang kinatawan ng integrated circuit manufacturing key equipment na may malaking sukat, guwang na manipis na pader, kumplikadong istraktura, precision silicon carbide structural parts preparation technology, tulad ng: silicon carbide vacuum chuck, guide rail, reflector, working table at isang serye ng precision silicon carbide structural parts para sa photolithography machine.
| Ari-arian | Fountyl | ||
| Densidad（g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Young's Modulus（GPa） | 368 | ||
| Lakas ng flexural（MPa） | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100 ℃ | 2.8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3.6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4.2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4.6×10-6 | ||
| Thermal Conductivity(W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Ang ratio ng Poisson | 0.187 | ||
| Shear modulus（GPa） | 155 | ||