Silisyum karbür seramikler, benzersiz fiziksel ve kimyasal özelliklerinden dolayı yarı iletken/entegre devre üretim ekipmanlarında önemli bir rol oynamaktadır.
Entegre devre üretiminin temel teknolojileri ve ekipmanları arasında litografi teknolojisi ve litografi ekipmanı, film büyütme teknolojisi ve ekipmanı, kimyasal mekanik po...