Seramik parçalar ve Kuvars Parçalar ve perflorlu Contalar ve Elektrostatik mandren....

Yarı iletken hassas parçaların geliştirilmesindeki gecikme, temel olarak karmaşık yarı iletken anahtar parça prosesi, yüksek hassasiyet gereklilikleri, uzun sertifika döngüsü, çoğu yabancı liderin yıllar süren birikimin ardından girişe karşı yüksek bir bariyer oluşturması ve yerli genel parça endüstrisi düzeninden kaynaklanmaktadır. Öte yandan, çeşitli tipte parçalar, nispeten küçük partiler, özel boyutlar vb. gibi uzun süredir eksik. Pazar segmentinin büyüklüğü dağınık, pazar talep alanının bir tavanı var, başlangıçtaki ilerleme gelişmiş gelişmelere dayanıyor. ekipman endüstrisi, uzun vadeli sermaye ilgi ve arayışı eksikliği, "uzmanlaşmış ve özel yeni" küçük ve orta ölçekli işletme listeleme kanalının, bölümlere ayrılmış ürün üreticilerinin önemli bir gelişme elde etmesine yardımcı olması bekleniyor, CVC (Kurumsal sermaye) ve uluslararası pazarların gelişmesi de parça şirketlerinin avantajlarını artırmasının önemli bir yolu haline gelecektir.

Aşağıda eski kuru proses ekipman parçaları endüstrisinin genel pazar ve belirli kategorilerdeki durumu ele alınmakta ve düşük yerelleştirme oranına veya nispeten yüksek tüketime sahip bazı malzeme parçaları endüstrisi listelenmektedir.

Yarı İletken Parçalar Pazar Büyüklüğü

Yarı iletken parçalar ilk olarak iki kategoriye ayrılır: 1. Hassas makine parçaları ve 2. Genel olarak satın alınan parçalar. 1. Hassas makine aksesuarları genellikle çeşitli yarı iletken ekipman şirketleri tarafından tasarlanır ve daha sonra yalnızca işlem odaları, iletim odaları vb. gibi şirketin ekipmanları için dış kaynaklı işlemler yapılır, yerelleştirme nispeten kolaydır ve yüzey işleme, hassas işleme ve diğer teknoloji gereksinimleri daha yüksektir. 2. Genel olarak satın alınan parçalar, uzun süredir doğrulanan ve birçok ekipman fabrikası ve üreticisi tarafından yaygın olarak tanınan bazı genel parçalardır. Daha standart hale getirilmiş ve farklı ekipman firmaları tarafından kullanılacak olan bu ürünler aynı zamanda üretim hattında yedek parça ve sarf malzemesi olarak da kullanılacak. Örneğin silikon yapısal parçalar, O-Ring contalar, vanalar, göstergeler, pompalar, Yüz plakaları, gaz püskürtme kafaları, Duş başlıkları vb. bu tür parçalar güçlü çok yönlülüğe ve tutarlılığa sahiptir ve ekipman ve üretim hattı tarafından onaylanması gerekir. .

Yarı iletken ekipmanın ana bileşeni olan bileşenler, yarı iletken malzemeler ve EDA yazılımıyla birlikte yarı iletken endüstri zincirindeki tasarım, üretim, sızdırmazlık ve test bağlantılarını destekler, böylece küresel ekonominin dijital sürecini destekler. Yarı iletken hammaddeler gibi yarı iletken çekirdek bileşenleri, pazar büyüklüğü küçük olmasına rağmen yarı iletken ekipmanın çekirdek bileşimini, ana maliyetini ve yüksek kaliteli performansını belirler. 2020 yılında küresel yarı iletken çekirdek parça pazarının büyüklüğü yaklaşık 20-30 milyar dolar, yarı iletken ekipman pazar büyüklüğü ise yaklaşık 80-90 milyar dolar olacak; Yarı iletken ekipman ve yarı iletken malzemeler, EDA birlikte yaklaşık 500 milyar ABD doları tutarında küresel yarı iletken çip ve uygulama endüstrisi ölçeğini desteklemektedir.

Yarı iletken parçalar Sektöre Genel Bakış

Yarı iletken ön uç cihazlarını üç geniş kategoriye ayırıyoruz:

(1) Esas olarak litografi makineleri ve ölçüm/tespit teçhizatı dahil olmak üzere optik teçhizat,

(2) esas olarak aşındırma makinesi, PVD, CVD, iyon implantasyon makinesi vb. dahil olmak üzere kuru proses ekipmanı.

(3) esas olarak temizleme ekipmanı, tutkal geliştirme ekipmanı ve CMP ekipmanı dahil olmak üzere ıslak işlem ekipmanı.

Yarı iletken bileşenlerin kategorileri ve bunlarda kullanılan ekipmanlar aşağıdakilere karşılık gelir:

Parça işletmeleri, yarı iletken parçaların ana malzemelerine ve işlevlerine göre on iki kategoriye ayrılır:

1. Silisyum/silikon karbür parçalar,
2. Kuvars parçaları,
3. Seramik parçalar,
4. Metal parçalar,
5. Grafit parçalar,
6. Plastik parçalar,
7. Vakum parçaları,
8. Mühürler,
9. Filtre parçaları,
10. Hareketli parçalar,
11. Elektrik kontrol parçaları
12. Diğer bölümler.

Bu parçaların her biri ayrıca vakum göstergesi (proses vakumunun ölçülmesi), vakum basınç göstergesi, gaz akış ölçer (MFC), vakum valfi parçaları, vakum pompaları ve diğer önemli parçalar dahil olmak üzere vakum parçaları gibi bir dizi alt ürünü de içerir.

Yerelleştirme oranı düşük malzeme parçaları

Yarı iletken üretim ekipmanı, hafif, yüksek mukavemetli, yüksek termal iletkenliğe ve düşük termal genleşme katsayısına ve kusursuz, yoğun tekdüzeliğe sahip hassas bileşen malzemeleri gerektirir. Yarı iletken parçalar malzeme, yapı, süreç ve kalitenin yanı sıra hassasiyet, güvenilirlik ve stabilite açısından da yüksek gereksinimlere sahiptir, bu nedenle yerelleştirme zordur.

Seramik parçalar

1). Yarı iletken seramik bileşenlerin ve sarf malzemelerinin ana malzemeleri

Hassas seramik parçalar En temsili yarı iletken hassas parça malzemeleri. Hassas seramikler, yarı iletken ekipman imalatının değerinin yaklaşık %16'sını oluşturur. Yarı iletken seramikler alümina, silisyum nitrür, alüminyum nitrür, silisyum karbür vb.'dir. Organik ve metalik malzemelerle karşılaştırıldığında, seramik malzemeler genellikle daha iyi fiziksel ve kimyasal korozyon direncine ve yüksek çalışma sıcaklığına sahiptir ve yarı iletken monokristalin silikon levha üretim sürecinin ve önceki işlem sürecinin temel bileşenleri haline gelmiştir. Seramik yüksek sertliğe, yüksek elastik modüle, yüksek aşınma direncine, yüksek izolasyona, korozyon direncine, düşük genleşmeye ve diğer avantajlara sahiptir; silikon parlatma makinesi, epitaksiyel/oksidasyon/difüzyon ve diğer ısıl işlem ekipmanları, litografi makinesi, biriktirme ekipmanı olarak kullanılabilir. yarı iletken aşındırma ekipmanı, iyon implantasyon makinesi ve diğer ekipman parçaları.

(1）Al₂O₃

(2) SiC

(3) AIN

(4)Si3N4

2). Hassas seramik parçaların pazar modeli

Şu anda yabancı şirketler, Japonya'da entegre devre çekirdek ekipmanları için hassas seramik yapısal parçaların araştırma, geliştirme ve uygulamasında, Amerika Birleşik Devletleri'nde CoorsTek, Almanya'da Berlinerglas vb.'de ön saflarda yer almaktadır; bunların arasında Japonya'da Kyocera ve CoorsTek yer almaktadır. Amerika Birleşik Devletleri'nde entegre devre çekirdek ekipmanlarına yönelik üst düzey hassas seramik yapı parçalarının pazar payının %70'ini elinde tutuyor.

Kuvars eşya

Yarı iletken kuvars cam endüstrisi

Kuvars camı, yarı iletken endüstrisinde fotomask, difüzyon, gravür ve diğer bağlantıların üretiminde yaygın olarak kullanılan önemli bir yardımcı malzemedir ve yarı iletken endüstrisindeki önemli hammaddelerden biridir. Kuvars yüksek sıcaklık direncine, küçük termal genleşme katsayısına, mükemmel ışık geçirgenliğine, iyi elektrik yalıtımına, korozyon direncine ve diğer üstün performansa sahiptir; aşağı yönlü talep, düşük kaliteli ışık kaynağı endüstrisinde (% 4), fotovoltaik endüstrisinde (% 7) yaygın olarak yer almaktadır. ), ayrıca ileri teknoloji optik (%10), optik fiber (%14) ve yarı iletken (%65) ve daha yüksek alanların diğer teknik eşikleri.

Perflorlu sızdırmazlık halkası

Perflorlu sızdırmazlık halkası, entegre devrelerin üretimi için gereken beş ana sarf malzemesinden biridir ve mevcut yurt içi kendi kendine yeterlilik oranı %1'den azdır. Yarı iletken üretim sürecinde flor ve hidrojen gazları sıklıkla yüksek sıcaklıkla karşılaşır. Sızdırmazlık halkası yoksa, yüksek enerjili gaz akışı değiştirilmiş malzemenin yüzeyine temas eder ve bu da malzeme yüzeyinde güçlü korozyona neden olur.

Elektrostatik Ayna

Elektrostatik ayna, vakum ortamına veya plazma ortamına uygun bir tür ultra temiz levha taşıyıcıdır. Ultra ince levhanın düz ve düzgün bir şekilde sıkıştırılmasını sağlamak için elektrostatik adsorpsiyon ilkesini kullanır ve PVD, PECVD, ETCH, EUVL, iyon implantasyonu ve diğer yarı iletken üretim ekipmanlarında yaygın olarak kullanılır. Tipik bir elektrostatik ayna tutma sistemi, üç bölümden oluşan bir sandviç yapıdır: dielektrik adsorpsiyon katmanı, elektrot katmanı ve taban katmanı. Üç parça, dielektrik adsorpsiyon katmanını, elektrot katmanını ve taban katmanını oluşturmak için elektrostatik aynada yüzey katmanından taban katmanına kadar katmanlı bir yapıda üst üste bindirilir.

Küresel elektrostatik ayna pazarı son derece tekellidir ve Japon ve Amerikan şirketlerinin, esas olarak AMAT (Uygulamalı malzemeler), LAM (Pan Forest Group) Amerikan şirketlerinin ve çoğunlukla Shinko (Shinko Electric), TOTO, NTKCERATEC vb. Japon şirketlerinin hakimiyetindedir. Uluslararası devler, küresel elektrostatik ayna ürünlerinin tedarik zincirini uzun süredir kontrol ediyor ve pazar yoğunlaşması yüksek.

Fountyl Technologies PTE Ltd, yarı iletken imalat endüstrisine odaklanmaktadır; ana ürünler şunlardır: Pim aynası, gözenekli seramik ayna, seramik uç efektör, seramik kare kiriş, seramik mil, iletişim ve müzakereye hoş geldiniz！