Yarı iletkenlerin temel bileşeni - Seramik aynanın ve küresel pazarın tanıtılması.

Elektrostatik ayna (ESC, e-Chuck) olarak da bilinen elektrostatik enayi, vakum ve plazma ortamına uygun, adsorbe edilen nesneyi tutmak ve sabitlemek için elektrostatik adsorpsiyon ilkesini kullanan bir fikstürdür, ana işlevi ultra-adsorbe etmek için kullanılır. temiz bir tabaka (silikon gibi) ve adsorbe nesnenin iyi bir düzlüğü korumasını sağlayın, süreçte adsorbe nesnenin deformasyonunu engelleyebilir. ve adsorbe edilen nesnenin sıcaklığını ayarlayabilir.

Mekanik sıkıştırma: Erken silikon gofret işlemede, geleneksel mekanik endüstrisindeki mekanik sıkıştırma yöntemi kullanılır, yani mekanik aktivite kelepçesi silikon gofreti sıkıştırmak için kullanılır, ancak kelepçe kenarına zarar verir. Silikon levhanın eğrilmesi kolaydır ve işleme doğruluğu üzerinde büyük etkisi olan silikon levhanın bükülmesi kolaydır, bu nedenle mekanik sıkıştırma yöntemi artık nadiren kullanılmaktadır.

Parafin mumu bağlama yöntemi: Genellikle silikon levha, önce fikstürün karakteristik pozisyonuna sabitlenir ve daha sonra yapıştırıcı, silikon levha ile fikstür arasına ısıtılarak ve eritilerek sızar, daha sonra sabitlenir. Bağlayıcı ve silikon levhanın sabit doğruluğu nedeniyle, yabancı maddeleri çıkarmadan önce bağlayıcının eritilmesi ve filtrelenmesi gerekir. Tüm sıkma işleminde parafin mumunun ısıtılması, yapıştırılması, soyulması ve temizlenmesi gerekir ve verim çok düşüktür. Aynı zamanda, bağlayıcının silikon levhanın temizliği üzerinde daha büyük bir etkisi olacaktır ve parafin bağ tabakasının tekdüzeliğini sağlamak ve kabarcık oluşmamasını sağlamak zordur.

Vakumlu ayna: Vakumlu aynanın çalışma yapısı esas olarak iki parçaya bölünmüştür, orta kısmı gözenekli seramiktir ve kenar kısmı bir sızdırmazlık halkasıdır. Çalışırken, silikon levha ile seramik yüzey arasındaki hava, gözenekli seramik üzerindeki küçük delikten çıkarılır, böylece silikon levha ve seramik yüzey düşük basınç elde eder ve silikon levha, aynanın yüzeyine adsorbe edilir. hava basıncına göre değişir, böylece silikon levha sabitlenir. İşlemin sonuna kadar bekleyin, iç iyonize su seramik yüzeyden dışarı akacak ve iyonize su, silikon levhanın seramik yüzeye yapışmasını engelleyebilir ve aynı zamanda silikon levha ve seramik yüzey de yapışabilir. temizlenecek ve ayna, temizlik tamamlandıktan sonra bir sonraki silikon parçasını sıkıştırmaya devam edecektir. Vakum aynasının iki ana dezavantajı vardır:

1, Silikon levha vakum aynasının yüzeyine adsorbe edildiğinde, silikon levha hava basıncı nedeniyle yerel deformasyona neden olur ve silikon levha işlendikten sonra geri döner, bu da kesim yüzeyinin oluklu bir şekil göstermesine neden olur ve yüzey pürüzsüzlük azalır. Ek olarak, işleme sırasında silikon levha ile ayna arasına küçük parçacıklar emilebilir, böylece silikon levhanın lokal deformasyonu işleme doğruluğunu etkiler.

2, Silikon levhanın vakum ortamında işlenmesi gerekiyorsa, vakum aynası vakum ortamında hiç çalışamaz. Fountyl Technologies PTE Ltd, çeşitli boyutlarda mikro gözenekli seramik ayna, PIN tipi seramik ayna ve seramik uç efektörlerin üreticisidir.

Elektrostatik ayna: gofreti elektrostatik adsorpsiyon yoluyla sabitler, avantajı, adsorpsiyonun gofret yüzeyine eşit olarak dağıtılmasıdır, gofretin deformasyonu çözülmez, adsorpsiyon kuvveti stabildir, kontrol edilebilir sıcaklık, gofret işleme doğruluğunu sağlayabilir; Elektrostatik aynanın levha üzerinde çok az kirliliği vardır, levhaya zarar vermez ve yüksek vakum ortamında kullanılabilir. Yarı iletken üretim sürecinde levha işlemede birçok süreç vardır ve her sürecin, levhanın düzgün bir şekilde sabitlenmesini sağlaması gerekir. Elektrostatik ayna sıkma aleti haline geldien yaygın olarak kullanılan gofret için ve aşındırma, film biriktirme ve iyon implantasyonu gibi ekipmanın temel bileşenleridir. Fountyl Technologes PTE Ltd, elektrostatik ayna ve seramik ısıtıcılara üstün performans sağlayabilir.

Elektrostatik aynanın tipik adsorpsiyon sistemi genellikle üst ve alt iki katmanın elektrot olduğu, orta katmanın bir dielektrik katman olduğu sandviç benzeri bir yapıdır. Pratikte, basit uygulamalarda, üst elektrot görevi görecek silikon levha, alt elektrot ve dielektrik katman, elektrostatik ayna adı verilen bir cihazda bir bütün olarak üretilir. Silikon levhanın sıkıştırılması işleminde, elektrot ile silikon levha arasındaki elektrot farkını oluşturmak için elektrota DC voltajı uygulanır ve silikon levha, elektrostatik adsorpsiyon kuvveti aracılığıyla elektrostatik aynaya sıkıştırılır. Ayrıca silikon levhanın işlenmesi sırasında üretilen ısı iki şekilde kaybolabilir:

1,Arkadaki ısı iletim sistemi sayesinde ısı dağılımı;

2, silikon levhanın yüzeyindeki ısı transfer gazı (genellikle helyum) yoluyla elde edilir.

Malzeme açısından bakıldığında, elektrostatik ayna esas olarak ana malzeme olarak alümina seramik veya alüminyum nitrür seramiklere dayanmaktadır, seramik malzemeler iyi ısı iletkenliğine, aşınma direncine ve yüksek sertliğe sahiptir ve elektrik yalıtımında metal malzemelerle karşılaştırıldığında doğal avantajlara sahiptir. Fonksiyonunun özelliği nedeniyle, elektrostatik ayna, imalat malzemesinin iletken malzemelerden ve yalıtkan malzemelerden farklı olmasını gerektirir, ancak yarı iletken malzemelere ait olmalıdır (10^-3 ~ 10^10 Ω·cm gövde direnci), dolayısıyla elektrostatik Chuck saf alümina veya saf alüminyum nitrür malzeme üretimi değildir. Bunun yerine, genel direncin işlevsel gereksinimleri karşılayacak şekilde olmasını sağlamak için diğer iletken maddeler eklenir.

QYResearch verilerine göre, küresel elektrostatik ayna pazar satış hacmi 2021 yılında 1,714 milyar dolardı ve 2022'den 2028'e kadar %5,06'lık bileşik büyüme oranıyla 2028'de 2,412 milyar dolara ulaşması bekleniyor. görünüm, 2021 yılında elektrostatik aynanın küresel satış hacmi 55.400 parçadır ve 2028'de 79.900 parçaya ulaşması beklenmektedir. 2021'de Çin'in elektrostatik aynasının pazar büyüklüğü 2.112 milyar yuan'a ulaştı ve Global InfoResearch'ün 3.481 milyar yuan'a ulaşacağı tahmin ediliyor. 2028'de, 2022'den 2028'e kadar %7,29'luk bir bileşik büyüme oranıyla.

Küresel elektrostatik ayna pazarı esas olarak Amerikalı ve Japon üreticilerin tekelindedir; ana üreticiler arasında Amerika Birleşik Devletleri Uygulamalı Malzemeler, Amerika Birleşik Devletleri Lam Research, Japonya SHINKO, Japonya TOTO, Japonya NTK şirketleri bulunmaktadır. Bunlar arasında Applied Materials ve Lam araştırma şirketi, kendi yarı iletken ekipmanları için elektrostatik ayna üretmekte ve üretilen aşındırma, PVD, CVD ekipmanlarını ve uyumlu elektrostatik aynayı fabrikalara satmaktadır. Elektrostatik aynalar sarf malzemeleri olduğundan, hizmet ömürleri genellikle iki yıldan fazla değildir, bu nedenle elektrostatik aynanın büyük bir değiştirme pazarı vardır. 2021 yılında dünyanın en büyük üç elektrostatik ayna üreticisi Applied Materials, Lam Research ve SHINKO olup Applied Materials %43,86 pazar payıyla dünyada ilk sırada yer almaktadır. Lam Research ve SHINKO'nun pazar payı sırasıyla %31,42 ve %10,20 oldu.

Fountyl Technologies PTE Ltd, yarı iletken imalat endüstrisine odaklanmaktadır; ana ürünler şunlardır: Pim aynası, gözenekli seramik ayna, seramik uç efektör, seramik kare kiriş, seramik mil, iletişim ve müzakereye hoş geldiniz！