Yarı iletken temizleme işlemi

Yarı iletken imalat endüstrisinde temizleme işleminin önemi ortadadır. Endüstri nanoproseslere doğru ilerlemeye devam ettikçe, levha yüzey temizliğine yönelik gereksinimler daha katı hale geliyor. Üretim sürecinde temizleme adımları karmaşık ama vazgeçilmezdir ve tüm talaş üretim sürecinin yaklaşık üçte birini oluşturur. Temizleme sadece çipin verimiyle ilgili değil, aynı zamanda elektriksel performans ve uzun vadeli güvenilirlikle de ilgilidir. Bu nedenle verimli ve çevre dostu bir üretim süreci sağlamak için bu hayati bağlantıyı derinlemesine anlamamız gerekiyor.

Temizlik işlemlerinin önemi

Difüzyon, biriktirme, iyon implantasyonu vb. üretim süreçlerinin işlemden önce ve sonra temizlenmesi gerekir. Temizlemenin amacı, parçacık madde, organik madde, metal kirletici maddeler ve oksitler dahil olmak üzere kirletici maddeleri çipten çıkarmaktır. Her türlü ince toz, kimyasal madde ve hatta üretim ekipmanının kendisi bile kirlilik kaynağı olabilir. Temizliğin her adımının tamamlanması için özel ekipman, kimyasallar ve proses koşulları gerekir.

Islak temizleme teknolojisi

Islak temizleme, yarı iletken temizlemede en yaygın kullanılan yöntemdir. RCA temizleme teknolojisinin tanıtılmasından bu yana, bunun 1960'larda Radio Corporation of America tarafından önerilen standart bir endüstriyel temizleme işlemi olduğunu biliyoruz. RCA temizliği öncelikle, her ikisi de hidrojen peroksit bazlı olan ve sırasıyla parçacıkları, metalleri ve organik maddeleri gideren standart temizleme sıvıları 1 ve 2'nin bir kombinasyonu aracılığıyla yapılır. Temizleme prensibi kimyasal oksidasyonu ve elektrokimyasal itmeyi içerir.

Temizleme prosesi optimizasyonu ve zorluklar

Temizleme işlemlerinin giderek iyileştirilmesiyle birlikte SPM (H2SO4/H2O2) ve seyreltilmiş hidroflorik asit (DHF) gibi yeni karışık çözeltiler piyasaya sürüldü. Bununla birlikte, bu temizleme yöntemleri aynı zamanda çözelti bileşenlerinin konsantrasyonu, çözelti sıcaklığı ve diğer faktörlerin nihai temizleme etkisini etkileyebilmesi gibi birçok zorlukla da karşı karşıyadır. Ayrıca temizleme işlemi sırasında çözeltinin akışkanlığı gofret yüzeyinin yıkanması kadar önemlidir.

Yenilikçi temizleme teknolojisi

Günümüzde kaynak tasarrufu ve verimliliğin artırılması bir gelişme trendi haline geldi. Her ikisi de çözeltinin ömrünü uzatırken kimyasalların ve deiyonize suyun kullanımını azaltmaya odaklanan seyreltilmiş kimyasal temizleme ve IMEC temizleme, daha çevre dostu ve ekonomik sonuçlar elde eder. Örneğin, seyreltilmiş HPM, geleneksel HPM kadar etkilidir ve aynı zamanda metal kirleticileri giderirken toplam kimyasal tüketimini de %14 oranında azaltabilir.

Temizleme verimliliğini artırmak için tek plaka temizliği yeni bir trend haline geldi. Çapraz bulaşma riskini azaltarak ürün verimini önemli ölçüde artırması ve maliyetleri düşürmesi bekleniyor. Ek olarak, kuru temizleme teknolojisinin uygulanması giderek daha popüler hale geliyor, ancak tamamen ıslak temizlemenin yerini alamasa da, kuru temizlemenin atık sıvı kalmaması ve belirli yerel işlemlere daha uygun olması gibi benzersiz avantajları vardır.

Kurutma işleminin önemi

Temizlik sonrası kurutma işlemi de kritiktir. Oksitlenmeyi veya su lekelerini önlemek için gofretlerin hemen kurutulması gerekir. Marangoni kurutma ve Rotagoni kurutma gibi kurutma teknikleri, talaşı temiz tutmak için hassas kurutma yöntemleriyle nemi giderir.

Fgelecek yönü

Giderek karmaşıklaşan süreçler ve sürekli olarak iyileştirilen ekipmanlar karşısında, yarı iletken temizliği daha fazla zorlukla karşı karşıyadır. Araştırmacılar, daha ince parçacıkları uzaklaştırmak için megatonik dalgaları birleştirmek gibi daha verimli temizleme teknikleri üzerinde çalışıyorlar. Yüksek hassasiyetli üretim süreçleri alanında, temizleme süreçleri şüphesiz yenilik ve gelişme için sıcak bir nokta haline gelecektir.

Çip üretim sürecinin önemli bir parçası olan yarı iletken temizliğinin ilerlemesi ve yenilikçiliği, tüm sektörün geleceği ile doğrudan ilgilidir. Çevre dostu ve verimli temizleme yöntemleri, endüstrinin sürdürülebilir gelişimini teşvik etmenin anahtarı olacaktır. Teknoloji daha da olgunlaştıkça, yarı iletken imalat endüstrisinin çip kalitesini ve performansını sağlarken kaynak kullanımını en üst düzeye çıkarması ve çevresel etkiyi en aza indirmesi bekleniyor.

Fountyl Technologies PTE Ltd, yarı iletken imalat endüstrisine odaklanmaktadır; ana ürünler şunlardır: pin aynası, halka oluklu ayna, gözenekli seramik ayna, seramik uç efektörü, seramik kiriş ve kılavuz, seramik yapısal parça, iletişim ve müzakereye hoş geldiniz！