Yarı iletken/entegre devre üretim ekipmanlarında kullanılan silisyum karbür seramikler

Silisyum karbür seramikler, benzersiz fiziksel ve kimyasal özelliklerinden dolayı yarı iletken/entegre devre üretim ekipmanlarında önemli bir rol oynamaktadır. Bununla birlikte, şu anda, entegre devre çekirdek ekipmanı için hassas seramik yapısal parçaların araştırma, geliştirme ve uygulamasının esas olarak Amerika Birleşik Devletleri, Japonya, Avrupa ve diğer yerlerde yoğunlaştığını ve hala mutlak bir tekel konumunda olduklarını belirtmek gerekir. . Bu nedenle Çin'in silisyum karbür seramik malzemeler ve ilgili hazırlama teknolojisi konusunda hâlâ daha fazla araştırmaya ve atılımlara ihtiyacı var.

1, Gtaşlama ve parlatma mandreni

Silisyum karbür parlatma aynasının üretim sürecinde, silisyum karbür seramik malzeme, aynanın şekline göre ve özel işlem işlemiyle işlenir, böylece yüzeyi mükemmel taşlama ve parlatma özelliklerine sahip olur. Kullanıldığında, ayna, yüzeydeki çapak ve oksitler gibi yabancı maddeleri çıkarmak için silisyum karbür seramiklerin sertliğini ve keskinliğini kullanarak iş parçasının yüzeyini emerek iş parçasının yüzeyini taşlar ve parlatır ve yüzeyin kalitesini ve doğruluğunu artırır. iş parçasının yüzeyi.

Silisyum karbür taşlama ve parlatma aynasının ana özellikleri şunlardır:

o Yüksek sertlik: silisyum karbür seramikler, elmastan sonra ikinci sırada yer alan son derece yüksek sertliğe sahiptir, bu nedenle malzemenin yüzeyindeki kusurları ve düzensizlikleri gidermek için taşlama ve cilalama işlemlerini etkili bir şekilde gerçekleştirebilirler.

o Yüksek aşınma direnci: Silisyum karbür seramiklerin yüksek sertliği aynı zamanda iyi bir aşınma direnci sağlar; bu da uzun taşlama ve cilalama işlemi sırasında küçük aşınmayı koruyabilir ve aletin servis ömrünü uzatabilir.

o Yüksek termal stabilite: Silisyum karbür seramikler yüksek termal stabiliteye ve düşük termal genleşme katsayısına sahiptir, yüksek sıcaklık ortamında istikrarlı performansı koruyabilir, yüksek sıcaklıkta taşlama ve cilalama işlemlerine uygundur.

o İyi kimyasal stabilite: silisyum karbür seramikler çoğu kimyasal maddeye karşı iyi bir stabiliteye sahiptir, paslanması ve aşınması kolay değildir ve çeşitli ortamlarda istikrarlı performansı koruyabilir.

2, Litografik ayna

Silisyum karbür litografi aynası, entegre devrelerin üretim sürecinde önemli bir rol oynar. Litografi işleminin sorunsuz ilerlemesini sağlamak için istikrarlı ve yüksek hassasiyetli silikon levha sabitlemesi ve desteği sağlayabilir, böylece entegre devrelerin üretim verimliliğini ve kalitesini artırabilir.

Silisyum karbür litografi aynasının entegre devre üretiminde önemli bir bileşen olduğu ve üretim teknolojisi ile hassasiyet gereksinimlerinin çok yüksek olduğu unutulmamalıdır. Şu anda, entegre devre üretiminin gereksinimlerini karşılamak için yalnızca birkaç yabancı şirket litografik ayna üretebilmektedir ve Çin'in bu alandaki teknolojisi ve ürünlerinin daha da geliştirilmesi ve iyileştirilmesi gerekmektedir.

Silisyum karbür litografi aynasının ana özellikleri şunlardır:

o Yüksek hassasiyet: Silisyum karbür seramikler, entegre devre üretim sürecinde silikon levhaların yüksek hassasiyetli sabitleme ve destek gereksinimlerini karşılayabilecek son derece yüksek sertliğe ve doğruluğa sahiptir.

o Yüksek stabilite: Silisyum karbür seramikler yüksek termal stabiliteye ve düşük termal genleşme katsayısına sahiptir; bu, litografi doğruluğunu etkilememek için litografi işlemi sırasında sabit bir boyut ve şekli koruyabilir.

o İyi kimyasal stabilite: silisyum karbür seramikler çoğu kimyasal maddeye karşı iyi bir stabiliteye sahiptir, paslanması ve aşınması kolay değildir ve litografi işlemi sırasında istikrarlı performansı koruyabilir.

o Yüksek adsorpsiyon kuvveti: Silisyum karbür litografi enayi, litografi işlemi sırasında kaymamasını veya sallanmamasını sağlamak için silikon levhaları sıkı bir şekilde adsorbe edebilen ve litografinin doğruluğunu ve stabilitesini sağlayan özel adsorpsiyon teknolojisini benimser.

3, Algılama aynası

silisyum karbür algılama mandreni, algılama sürecinin sorunsuz ilerlemesini sağlayabilir, böylece entegre devrelerin üretim kalitesini artırabilir. Aynı zamanda, silisyum karbür algılama aynasının servis ömrü uzundur; bu da üretim maliyetlerini ve bakım maliyetlerini azaltabilir ve genel ekonomik faydaları artırabilir.

4, Hassas hareket platformu

Silisyum karbür hassas hareket platformu, çeşitli yüksek hassasiyetli üretim ve işleme alanlarında önemli bir rol oynar. Ürün kalitesini ve üretim verimliliğini artırmak amacıyla yarı iletken işleme, optik üretim, nanoteknoloji ve diğer alanlar için yüksek hassasiyetli ve yüksek stabiliteye sahip hareket kontrol çözümleri sağlayabilir.

Silisyum karbür hassas hareket platformunun ana özellikleri şunları içerir:

o Yüksek hassasiyet: silisyum karbür seramikler, hareket platformunun yüksek hassasiyet gereksinimlerini karşılayabilen ve hareket sırasında platformun stabilitesini ve doğruluğunu sağlayabilen son derece yüksek sertliğe ve doğruluğa sahiptir.

o Yüksek stabilite: Silisyum karbür seramikler, yüksek sıcaklık ve zorlu ortamlarda istikrarlı performansı koruyabilen, boyutsal deformasyonu ve termal hatayı azaltabilen ve platformun uzun vadeli stabilitesini sağlayabilen yüksek termal stabiliteye ve düşük termal genleşme katsayısına sahiptir.

o Hafif: Silisyum karbür seramikler, platformun hafif tasarımını gerçekleştirebilen, hareket ataletini azaltabilen, motor yükünü azaltabilen ve platformun dinamik tepkisini ve hızlanmasını geliştirebilen düşük yoğunluklu ve yüksek dayanıma sahiptir.

o Yüksek aşınma direnci: Silisyum karbür seramikler mükemmel aşınma direncine sahiptir, yüksek hızlı harekete ve ağır yük aşınmasına karşı dayanıklıdır, platformun servis ömrünü uzatır.

5,Aşındırma bağlantıları için yüksek saflıkta silisyum karbür parçalar 

Aşındırma işleminde yüksek saflıkta silisyum karbür bileşenler önemli bir rol oynar. Yüksek saflıkta silisyum karbür, yüksek sertlik, yüksek termal stabilite, iyi kimyasal stabilite ve düşük reaktivite gibi mükemmel fiziksel ve kimyasal özelliklere sahiptir ve bu da onu dağlama ekipmanı için ideal bir malzeme haline getirir.

yüksek saflıkta silisyum karbür parçalar önemli bir rol oynar. Yüksek saflıkta silisyum karbür, yüksek sertlik, yüksek termal stabilite, iyi kimyasal stabilite ve düşük reaktivite gibi mükemmel fiziksel ve kimyasal özelliklere sahiptir ve bu da onu dağlama ekipmanı için ideal bir malzeme haline getirir.

Plazma aşındırma ekipmanında, odaklama halkaları, gaz püskürtme kafaları, paletler, kenar halkaları, kazınmış boşluklar, kazınmış gaz nozülleri vb. gibi temel bileşenlerin üretiminde genellikle yüksek saflıkta silisyum karbür kullanılır. Bu bileşenler dağlama işleminde hayati bir rol oynar. Plazmanın düzgün dağılımını sağlamak için odaklama halkası, gaz enjeksiyonunu hassas bir şekilde kontrol etmek için gaz püskürtme kafası, kazınacak levhayı desteklemek ve stabilize etmek için tepsi ve kenar halkası gibi.

Yüksek saflıkta silisyum karbür parçalar, klor ve flor aşındırma gazı içeren ortamda iyi bir stabilite gösterir ve düşük reaktivitesi, aşındırma işlemi sırasında korozyonu ve ekipmana verilen zararı etkili bir şekilde azaltabilir. Ek olarak, yüksek saflıkta silisyum karbür de silisyuma benzer bir elektriksel iletkenliğe sahiptir, bu da aşındırma işlemi sırasında akımı etkili bir şekilde iletmesine olanak tanıyarak aşındırma işleminin tekdüzeliğini ve tutarlılığını sağlar.

Entegre devre üretiminin sürekli ilerlemesiyle birlikte aşındırma teknolojisine yönelik gereksinimler giderek artıyor. Yüksek saflıkta silisyum karbür bileşenler, mükemmel performansları ve kararlılıkları ile bu gereksinimleri karşılamanın anahtarlarından biridir. Teknolojinin sürekli gelişmesiyle birlikte, yüksek saflıkta silisyum karbürün aşındırma işleminde uygulanması giderek daha kapsamlı hale gelecektir.

6, Paket incelemesinde hassas hareket sistemi

Yüksek hızlı ve yüksek hassasiyetli hareket kontrolünde silisyum karbür seramiklerin yüksek sertliği ve düşük sürtünmesi, aşınmayı ve sürtünmeyi azaltabilir ve sistemin stabilitesini ve ömrünü uzatabilir. Aynı zamanda, paket inceleme sürecinde sıcaklık değişiminin hassas hareket sistemi üzerinde etkisi olabilir ve silisyum karbür seramiklerin uygulanması bu etkiyi etkili bir şekilde azaltabilir ve sistemin güvenilirliğini ve stabilitesini artırabilir.

Paketleme ve test bağlantısındaki silisyum karbür seramiklerin hassas hareket sistemi, kılavuz rayı, yatak ve kaydırma bloğu gibi temel bileşenleri içerir. Bu bileşenlerin üretim doğruluğu ve performansı, tüm hareket sisteminin stabilitesini ve doğruluğunu doğrudan etkiler. Bu nedenle silisyum karbür seramiklerin yüksek hassasiyetli işleme teknolojisi ve yüzey işleme teknolojisi de çok önemlidir.

Silisyum karbür seramikler aynı zamanda talaş paketleme sırasında hizalama ve takma gibi üretim paketi inceleme sürecinde hassas hareket sistemleri için de kullanılır.

Silisyum karbür seramikler, paket denetiminin hassas hareket sisteminde önemli bir rol oynar. Teknolojinin sürekli ilerlemesi ve uygulama alanlarının genişlemesiyle birlikte silisyum karbür seramiklerin hassas hareket sistemlerinde uygulanması giderek daha kapsamlı olacaktır.

FOUNTYL TEKNOLOJİLERİ PTE. LTD. ileri seramik seti Ar-Ge, üretim ve satış alanında modern bir kuruluştur ve esas olarak gözenekli seramikler, alümina, zirkonya, silisyum nitrür, silisyum karbür, alüminyum nitrür, mikrodalga dielektrik seramikler ve diğer gelişmiş seramik malzemeleri üretir. Özel olarak davet edilen Japon teknoloji uzmanımız, yarı iletken alanında 30 yılı aşkın endüstri deneyimine sahip olup, yerli ve yabancı müşterilere aşınma direnci, korozyon direnci, yüksek sıcaklık dayanımı, yüksek ısı iletkenliği, izolasyon ile özel seramik uygulama çözümlerini verimli bir şekilde sunmaktadır.