Silikon oksit (SiO2) filmin kullanımı nedir?

Yarı iletken üretim sürecinin tamamı çok yaygın ve vazgeçilmezdir; ne için kullanılır?

Silikon oksidin fiziksel ve kimyasal özellikleri?

Silikon oksit (SiO2) genellikle doğada kuvars kristalleri formunda ve yarı iletken üretim prosesinde CVD veya PVD amorf formunda bulunur. Yüksek sertlik, yüksek erime noktası, mükemmel kimyasal stabilite, diğer kimyasallarla neredeyse hiç reaksiyona girmez, iyi yalıtım performansı, düşük termal genleşme katsayısı.

Yarı iletken üretiminde silikon oksit filmin uygulanması?

1. Aşındırma, difüzyon ve iyon implantasyonu için maske katmanı olarak kullanılır; Aşındırma maskesi olarak silikon oksit yüksek seçiciliğe sahiptir ve kimyasallarla ve gazlarla reaksiyona girmez. Difüzyon ve iyon implantasyon maskesi olarak bor ve fosfor gibi katkılı maddelerin silikon levhanın diğer bölgelerine difüzyonunu engeller, böylece katkılama bölgesinin sınırı hassas bir şekilde kontrol edilebilir;

2, yalıtım ortamı olarak kullanılır (izolasyon, yalıtım ızgarası, çok katmanlı kablo yalıtımı, kapasitif ortam vb.); Bir izolasyon katmanı olarak çeşitli parçalar arasındaki karışmanın azaltılmasına yardımcı olur; Bir geçit oksit tabakası olarak, transistörden akan akımı kontrol etmek için kanalın taşıyıcısını düzenlemek üzere geçit voltajını etkili bir şekilde kontrol edebilir. Dielektrik katman olarak, metal katmanları farklı katmanlar arasında izole etmek için kullanılır, bu da akım sızıntısını ve kısa devreyi önleyebilir.

3, yüzey koruması ve pasivasyon için kullanılır. Silikon oksit filmleri, hassas malzemelerin yüzeyini dış nemden, kirletici maddelerden ve kimyasal korozyondan korumak için kaplayan koruyucu bir katman olarak kullanılabilir. Yarı iletken yüzeylerin kimyasal ve elektriksel özelliklerini iyileştirmek için pasivasyon katmanı olarak. Yüzey atomlarının aktivitesini etkili bir şekilde önleyebilir, yüzey kusurlarını azaltabilir ve cihazın elektriksel performansını artırabilir.

Fountyl Technologies PTE Ltd, yarı iletken imalat endüstrisine odaklanmaktadır; ana ürünler şunlardır: Pim aynası, gözenekli seramik ayna, seramik uç efektör, seramik kare kiriş, seramik mil, iletişim ve müzakereye hoş geldiniz！