Yarı iletken sürecinin tamamının tekrar tekrar temizlenmesi gerekiyor ve temizleme süreci yarı iletken endüstrisinde yürütülüyor ve toplam üretim sürecinin %30'undan fazlasını oluşturuyor.
ASML, 1 Nisan 1984'te ASM Litografi olarak kuruldu. Philips ve ASM International arasındaki bu ortak girişimin misyonu, Philips tarafından geliştirilen bir wafer stepper olan PAS 2000'i ticarileştirmektir...