Өй
Материаллар
0102030405
Силикон карбид коррозиягә чыдам өлешләр, мөһер өлешләре, югары температурага чыдам өлешләр, юл рельслары һәм квадрат яктырткычлар өчен кулланыла.
Кремний карбид керамикасы нормаль температурада искиткеч механик үзлекләргә ия, мәсәлән, югары көч, югары каты, югары эластик модуль, югары җылылык үткәрүчәнлеге, түбән җылылык киңәю коэффициенты кебек яхшы температураның тотрыклылыгы, һәм аеруча каты, оптик эшкәртү үзенчәлекләре. төгәл керамик структур өлешләр өчен фотолитография машинасын һәм бүтән интеграль схема җиһазларын әзерләү өчен. Фотолитография машинасында кулланылган кебек, эш хәрәкәте таблицасы, скелет, сорау касәсе, су белән суытылган тәлинкә һәм төгәл үлчәү көзгесе, торлау һәм башка керамик структур өлешләр, Фонтан яңа материал, күпьеллык техник тикшеренүләрдән соң, зурлыкны, нечкә стенаны чишәләр, кремний карбид структур өлешләренең буш һәм башка катлаулы структурасы төгәл эшкәртү һәм әзерләү проблемалары, бу төгәл кремний карбид структур өлешләрен әзерләү технологиясенең техник кыенлыкларын өзеп. Бу интеграль схема җитештерү җиһазларында кулланылган төп структур өлешләрнең локализациясенә зур ярдәм күрсәтте.
● Кремний карбид керамикасы, нигездә, басымсыз синтеринг кремний карбидын (SSiC), реакция синтерланган кремний карбидын (РБСК), химик пар парламенты кремний карбидын (CVD-SiC) үз эченә ала.
● Кремний карбидының төрле искиткеч үзенчәлекләре бар: супер каты, кием каршылыгы, югары җылылык үткәрүчәнлеге һәм механик көче, аз җылылык киңәю коэффициенты, искиткеч җылылык тотрыклылыгы, түбән тыгызлык, югары специфик катгыйлык, магнит булмаган.
Present Хәзерге вакытта кремний карбид керамикасы авиация, аэрокосмик һәм атом сәнәгате кебек төрле тармакларда кулланыла, мәсәлән, кремний карбид керамик рефлекторы өчен югары дәрәҗәдәге җиһазларның керамик өлешләре һәм экстремаль шартларда IC интеграль челтәр җитештерү, җылылык алмаштыргычлар һәм пуля үткәрми торган материаллар.
Интеграль челтәр җитештерү җиһазлары өчен төгәл керамик структур өлешләрнең үзенчәлекләре:
Light lyгары җиңел: хәрәкәт инерциясен киметү, мотор йөген киметү, хәрәкәтнең эффективлыгын яхшырту, урнашу төгәллеге һәм тотрыклылыгы өчен, структур өлешләр гадәттә җиңел структура дизайнын кулланалар, җиңел авырлык 60-80%, 90% ка кадәр;
Form formгары форма-позиция төгәллеге: precгары төгәл хәрәкәткә һәм позициягә ирешү өчен, структур өлешләр бик югары форма һәм позиция төгәллегенә ия булырга тиеш, яссылык, параллелизм һәм перпендикулярлык 1μмнан ким булырга тиеш, һәм форма һәм позициянең төгәллеге 5μмнан ким булырга тиеш.
Dimensional dimгары үлчәмле тотрыклылык: precгары төгәл хәрәкәткә һәм позициягә ирешү өчен, структур өлешләр бик зур үлчәмле тотрыклылыкка ия булырга тиеш, штамм чыгармаска, һәм югары җылылык үткәрүчәнлеге, түбән җылылык киңәйтү коэффициенты, зур үлчәмле деформация ясау җиңел түгел. ;
An Чиста һәм пычранусыз. Структур өлешләрдә бик түбән сүрелү коэффициенты, хәрәкәт вакытында кечкенә кинетик энергия югалуы, кисәкчәләрнең пычрануы булырга тиеш. Кремний карбид материалы бик югары эластик модульгә, җылылык үткәрүчәнлегенә һәм түбән җылылык киңәйтү коэффициентына ия, бөкләнгән стресс деформациясен һәм җылылык штаммын җитештерү җиңел түгел, һәм искиткеч полисацияле, искиткеч көзгегә эшкәртелергә мөмкин; Шуңа күрә, кремний карбидын фотолитография машинасы, интеграль схемаларның төп җиһазлары өчен төгәл структур материал буларак куллануның зур өстенлекләре бар, Кремний карбидының яхшы химик тотрыклылыгы, югары механик көче, югары җылылык үткәрүчәнлеге һәм түбән җылылык киңәйтү коэффициенты, һәм югары температурада, югары басымда, коррозиядә һәм экстремаль мохиттә нурланышта кулланылырга мөмкин.
Кремний карбид яхшы химик тотрыклылык, югары механик көч, югары җылылык үткәрүчәнлеге һәм түбән җылылык киңәйтү коэффициентының өстенлекләренә ия, һәм ул югары температурада, югары басымда, коррозиядә һәм экстремаль мохит нурларында кулланылырга мөмкин.
Интеграль схеманың төп җиһазлары компонент материалларының җиңел авырлык, югары көч, югары җылылык үткәрүчәнлеге һәм түбән җылылык киңәйтү коэффициентына ия булуларын таләп итәләр, кимчелексез тыгыз һәм бертөрле. Ultиһазларның ультра төгәл хәрәкәтен һәм контролен тәэмин итү өчен компонентлар бик югары үлчәмле төгәллек һәм үлчәм тотрыклылыгы булырга тиеш. Кремний карбид керамикасы югары эластик модульгә һәм конкрет катгыйлыкка ия, деформацияләү җиңел түгел, һәм югары җылылык үткәрүчәнлеге һәм түбән җылылык киңәйтү коэффициенты, югары җылылык тотрыклылыгы бар, шуңа күрә кремний карбид керамикасы искиткеч структур материал булып тора, хәзерге вакытта интеграль челтәр җитештерүендә. күп төрле кушымталар алу өчен төп җиһазлар, мәсәлән, кремний карбид эш өстәле булган литография машинасы, юл тимер юлы, рефлектор, керамик чәк, керамик ахыр эффектор.
Фонтан фотолитография машинасын зур размерлы, буш дивар, катлаулы структурасы, кремний карбид структур өлешләрен әзерләү технологиясе белән интеграль схема җитештерүче төп җиһаз вәкиле буларак каршы ала ала, мәсәлән: кремний карбид вакуум чәк, юл тимер юлы, рефлектор, эш өстәле. һәм фотолитография машинасы өчен төгәл кремний карбид структур өлешләре.
| Сыйфатлар | Фонтан | ||
| Тыгызлыгы （g / cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Яшьләр модуле （GPa） | 368 | ||
| Флексур көч （MPa） | 334 | ||
| Вайбул | 8.35 | ||
| CTE （× 10-6 / ℃） | 100 ℃ | 2.8 × 10-6 | |
| 400 ℃ | 3.6 × 10-6 | ||
| 800 ℃ | 4.2 × 10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4.6 × 10-6 | ||
| Rылылык үткәрүчәнлеге (W / m · k) (20 ºС) | 160-180 | ||
| Писсон катнашы | 0.187 | ||
| Кисү модуласы （GPa） | 155 | ||