додому
Матеріали
Карбід кремнію використовується для корозійностійких деталей, ущільнень, високотемпературних деталей, напрямних і квадратних балок
Кераміка з карбіду кремнію має відмінні механічні властивості при нормальній температурі, такі як висока міцність, висока твердість, високий модуль пружності, відмінна високотемпературна стабільність, така як висока теплопровідність, низький коефіцієнт теплового розширення, а також хороша питома жорсткість і властивості оптичної обробки, особливо придатні для підготовки машини для фотолітографії та іншого обладнання інтегральних схем для точних керамічних структурних частин. Такий, як використовуваний у фотолітографічній машині для точного рухомого робочого столу, скелета, присоски, пластини з водяним охолодженням і точного вимірювального дзеркала, решітки та інших керамічних структурних частин, нового матеріалу Fountyl після років технічних досліджень, вирішення великого розміру, тонкої стіни, порожниста та інша складна структура прецизійної обробки та підготовки структурних частин карбіду кремнію, проблеми з прецизійною обробкою та підготовкою, подолання технічних вузьких місць у цій технології прецизійної підготовки структурних частин карбіду кремнію. Це значно сприяло локалізації ключових структурних частин, що використовуються в обладнанні для виробництва інтегральних схем.
● Кераміка з карбіду кремнію в основному включає карбід кремнію без тиску спікання (SSiC), карбід кремнію, спечений реакцією (RBSC), карбід кремнію хімічного осадження з парової фази (CVD-SiC).
● Карбід кремнію має низку відмінних властивостей: надтвердий, зносостійкість, висока теплопровідність і механічна міцність, низький коефіцієнт теплового розширення, чудова термічна стабільність, низька щільність, висока питома жорсткість, немагнітний.
● В даний час кераміка з карбіду кремнію використовується в різних галузях промисловості, таких як авіаційна, аерокосмічна та ядерна промисловість, наприклад керамічні частини високоякісного обладнання для виробництва керамічних відбивачів з карбіду кремнію та інтегральних схем, теплообмінників і куленепробивних матеріалів у екстремальних умовах.
Особливості прецизійних керамічних структурних частин для обладнання для виробництва інтегральних схем:
① Надзвичайно легкий: щоб зменшити інерцію руху, зменшити навантаження на двигун, покращити ефективність руху, точність позиціонування та стабільність, конструктивні частини, як правило, використовують легку конструкцію конструкції, швидкість полегшення становить 60-80%, до 90%;
② Висока точність форми та положення: щоб досягти високоточного руху та позиціонування, структурні частини повинні мати надзвичайно високу точність форми та положення, площинність, паралельність та перпендикулярність повинні бути менше 1 мкм, а форма та точність розташування повинна бути менше 5 мкм.
③ Висока стабільність розмірів: щоб досягти високоточного переміщення та позиціонування, конструктивні частини повинні мати надзвичайно високу стабільність розмірів, щоб не створювати напруги, а також високу теплопровідність, низький коефіцієнт теплового розширення, непросто створити велику розмірну деформацію ;
④ Чистий і чистий. Деталі конструкції повинні мати надзвичайно низький коефіцієнт тертя, невеликі втрати кінетичної енергії під час руху та відсутність забруднення шліфувальними частинками. Матеріал карбіду кремнію має дуже високий модуль пружності, теплопровідність і низький коефіцієнт теплового розширення, нелегко виробляти деформацію напруги вигину та термічну деформацію, і має відмінну поліруемість, може бути оброблений до чудового дзеркала; Таким чином, використання карбіду кремнію як прецизійного конструкційного матеріалу для ключового обладнання інтегральних схем, таких як фотолітографічна машина, має великі переваги. Карбід кремнію має такі переваги, як хороша хімічна стабільність, висока механічна міцність, висока теплопровідність і низький коефіцієнт теплового розширення, і може застосовуватися при високій температурі, високому тиску, корозії та радіації в екстремальних середовищах.
Карбід кремнію має такі переваги, як хороша хімічна стабільність, висока механічна міцність, висока теплопровідність і низький коефіцієнт теплового розширення, і може застосовуватися при високій температурі, високому тиску, корозії та радіації в екстремальних середовищах.
Ключове обладнання інтегральної схеми вимагає, щоб матеріали компонентів мали легку вагу, високу міцність, високу теплопровідність і низький коефіцієнт теплового розширення, а також були щільними та однорідними без дефектів. Компоненти повинні мати надзвичайно високу точність розмірів і стабільність розмірів, щоб забезпечити надточний рух і контроль обладнання. Кераміка з карбіду кремнію має високий модуль пружності та конкретну жорсткість, її нелегко деформувати, має високу теплопровідність і низький коефіцієнт теплового розширення, високу термічну стабільність, тому кераміка з карбіду кремнію є чудовим конструкційним матеріалом, який зараз використовується для виробництва інтегральних схем. ключове обладнання для отримання широкого діапазону застосувань, наприклад літографічна машина з робочим столом з карбіду кремнію, напрямною рейкою, відбивачем, керамічним патроном і керамічним кінцевим ефектором.
Fountyl може зустрітися з машиною для фотолітографії як представником основного обладнання для виробництва інтегральних схем із великим розміром, порожнистою тонкою стінкою, складною структурою, технологією прецизійної підготовки структурних частин з карбіду кремнію, наприклад: вакуумний патрон з карбіду кремнію, напрямна рейка, відбивач, робочий стіл і серія прецизійних структурних деталей з карбіду кремнію для фотолітографічної машини.
| Властивості | Fountyl | ||
| Щільність (г/см3) | 2.98-3.02 | ||
| Модуль Юнга（ГПа） | 368 | ||
| Міцність на вигин (МПа) | 334 | ||
| Вейбулл | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100 ℃ | 2,8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4,6×10-6 | ||
| Теплопровідність (Вт/м·к) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Коефіцієнт Пуассона | 0,187 | ||
| Модуль зсуву (ГПа) | 155 | ||