گھر
مواد
سلیکون کاربائیڈ سنکنرن مزاحم حصوں، سیل حصوں، اعلی درجہ حرارت مزاحم حصوں، گائیڈ ریلوں اور مربع بیم کے لئے استعمال کیا جاتا ہے
سلکان کاربائیڈ سیرامکس عام درجہ حرارت پر بہترین مکینیکل خصوصیات رکھتے ہیں، جیسے کہ اعلی طاقت، اعلیٰ سختی، اعلی لچکدار ماڈیولس، بہترین اعلی درجہ حرارت کا استحکام، جیسے کہ اعلی تھرمل چالکتا، کم تھرمل ایکسپینشن گتانک، اور اچھی مخصوص سختی اور آپٹیکل پروسیسنگ خصوصیات، خاص طور پر مناسب درست سیرامک ساختی حصوں کے لیے فوٹو لیتھوگرافی مشین اور دیگر مربوط سرکٹ آلات کی تیاری کے لیے۔ جیسا کہ فوٹو لیتھوگرافی مشین میں استعمال ہونے والی پریسجن موونگ ورک پیس ٹیبل، کنکال، سکشن کپ، واٹر کولڈ پلیٹ اور درست پیمائش کا آئینہ، گریٹنگ اور دیگر سیرامک سٹرکچرل پارٹس، برسوں کی تکنیکی تحقیق کے بعد فاؤنٹائل نیا مواد، بڑے سائز، پتلی دیوار کو حل کرنے، کھوکھلی اور سلکان کاربائڈ ساختی حصوں صحت سے متعلق پروسیسنگ اور تیاری کے مسائل کے دیگر پیچیدہ ڈھانچے، صحت سے متعلق سلکان کاربائڈ ساختی حصوں کی تیاری ٹیکنالوجی کے اس قسم کی تکنیکی رکاوٹ کے ذریعے توڑنے. اس نے انٹیگریٹڈ سرکٹ مینوفیکچرنگ آلات میں استعمال ہونے والے کلیدی ساختی حصوں کی لوکلائزیشن کو بہت فروغ دیا ہے۔
● سیلیکون کاربائیڈ سیرامکس میں بنیادی طور پر پریشر لیس سینٹرنگ سلکان کاربائیڈ (SSiC)، ری ایکشن-sintered سلکان کاربائیڈ (RBSC)، کیمیائی بخارات جمع کرنے والی سلکان کاربائیڈ (CVD-SiC) شامل ہیں۔
● سیلیکون کاربائیڈ میں متعدد بہترین خصوصیات ہیں: انتہائی سخت، لباس مزاحمت، اعلی تھرمل چالکتا اور مکینیکل طاقت، کم تھرمل توسیع گتانک، بہترین تھرمل استحکام، کم کثافت، اعلی مخصوص سختی، غیر مقناطیسی۔
● اس وقت، سیلیکون کاربائیڈ سیرامکس مختلف صنعتوں جیسے ہوا بازی، ایرو اسپیس اور جوہری صنعت میں لاگو ہوتے ہیں، جیسے کہ سلیکون کاربائیڈ سیرامک ریفلیکٹر اور آئی سی انٹیگریٹڈ سرکٹ مینوفیکچرنگ، ہیٹ ایکسچینجرز اور بلٹ پروف مواد کے لیے اعلیٰ درجے کے آلات کے سیرامک حصے انتہائی حالات میں۔
انٹیگریٹڈ سرکٹ مینوفیکچرنگ آلات کے لیے صحت سے متعلق سرامک ساختی حصوں کی خصوصیات:
① انتہائی ہلکا پھلکا: حرکت کی جڑت کو کم کرنے، موٹر بوجھ کو کم کرنے، تحریک کی کارکردگی، پوزیشننگ کی درستگی اور استحکام کو بہتر بنانے کے لیے، ساختی حصے عام طور پر ہلکے وزن کے ڈھانچے کے ڈیزائن کا استعمال کرتے ہیں، ہلکے وزن کی شرح 60-80٪ ہے، 90٪ تک؛
② اعلی شکل کی پوزیشن کی درستگی: اعلی درستگی کی نقل و حرکت اور پوزیشننگ حاصل کرنے کے لیے، ساختی حصوں کو انتہائی اعلی شکل اور پوزیشن کی درستگی کی ضرورت ہوتی ہے، چپٹا پن، متوازی اور کھڑا ہونا ضروری ہے 1μm سے کم، اور فارم اور پوزیشن کی درستگی کا 5μm سے کم ہونا ضروری ہے۔
③ اعلی جہتی استحکام: اعلی صحت سے متعلق نقل و حرکت اور پوزیشننگ حاصل کرنے کے لئے، ساختی حصوں میں انتہائی اعلی جہتی استحکام ہونا ضروری ہے، دباؤ پیدا کرنے کے لئے نہیں، اور اعلی تھرمل چالکتا، کم تھرمل توسیع گتانک، بڑی جہتی اخترتی پیدا کرنا آسان نہیں ہے ;
④ صاف اور آلودگی سے پاک۔ ساختی حصوں کے لیے انتہائی کم رگڑ گتانک، حرکت کے دوران حرکی توانائی کا چھوٹا نقصان، اور پیسنے والے ذرات کی آلودگی کی ضرورت ہوتی ہے۔ سلیکن کاربائیڈ مواد میں بہت زیادہ لچکدار ماڈیولس، تھرمل چالکتا اور کم تھرمل ایکسپینشن گتانک ہے، موڑنے والے تناؤ کی اخترتی اور تھرمل تناؤ پیدا کرنا آسان نہیں ہے، اور اس میں بہترین چمکانے کی صلاحیت ہے، بہترین آئینے پر مشینی کی جا سکتی ہے۔ لہذا، انٹیگریٹڈ سرکٹس کے اہم آلات جیسے فوٹو لیتھوگرافی مشین کے لیے سلکان کاربائیڈ کو صحت سے متعلق ساختی مواد کے طور پر استعمال کرنے کے بڑے فوائد ہیں، سلیکن کاربائیڈ میں اچھے کیمیائی استحکام، اعلی مکینیکل طاقت، اعلی تھرمل چالکتا اور کم تھرمل توسیع گتانک کے فوائد ہیں، اور اعلی درجہ حرارت، ہائی پریشر، سنکنرن اور انتہائی ماحول کی تابکاری میں لاگو کیا جا سکتا ہے۔
سلیکن کاربائیڈ میں اچھی کیمیائی استحکام، اعلی مکینیکل طاقت، اعلی تھرمل چالکتا اور کم تھرمل توسیع گتانک کے فوائد ہیں، اور اسے اعلی درجہ حرارت، ہائی پریشر، سنکنرن اور انتہائی ماحول کی تابکاری میں لاگو کیا جا سکتا ہے۔
انٹیگریٹڈ سرکٹ کے کلیدی آلات کے لیے ضروری ہے کہ اجزاء کے مواد میں ہلکے وزن، زیادہ طاقت، اعلی تھرمل چالکتا اور کم تھرمل ایکسپینشن گتانک کی خصوصیات ہوں، اور بغیر کسی نقائص کے گھنے اور یکساں ہوں۔ آلات کی انتہائی درستگی کی نقل و حرکت اور کنٹرول کو یقینی بنانے کے لیے اجزاء کو انتہائی اعلیٰ جہتی درستگی اور جہتی استحکام کی ضرورت ہوتی ہے۔ سلیکون کاربائیڈ سیرامکس میں اعلی لچکدار ماڈیولس اور مخصوص سختی ہوتی ہے، جس کو درست کرنا آسان نہیں ہوتا ہے، اور اس میں اعلی تھرمل چالکتا اور کم تھرمل ایکسپینشن گتانک، اعلی تھرمل استحکام ہوتا ہے، اس لیے سلکان کاربائیڈ سیرامکس ایک بہترین ساختی مواد ہے، جو فی الحال انٹیگریٹڈ سرکٹ مینوفیکچرنگ میں ہے۔ ایپلی کیشنز کی ایک وسیع رینج حاصل کرنے کے لیے کلیدی سامان، جیسے سلکان کاربائیڈ ورکنگ ٹیبل کے ساتھ لتھوگرافی مشین، گائیڈ ریل، ریفلیکٹر، سیرامک چک، اور سیرامک اینڈ انفیکٹر۔
Fountyl بڑے سائز، کھوکھلی پتلی دیوار، پیچیدہ ڈھانچہ، صحت سے متعلق سلکان کاربائیڈ ساختی حصوں کی تیاری کی ٹیکنالوجی، جیسے: سلکان کاربائیڈ ویکیوم چک، گائیڈ ریل، ریفلیکٹر، ورکنگ ٹیبل کے ساتھ مربوط سرکٹ مینوفیکچرنگ کلیدی آلات کے نمائندے کے طور پر فوٹو لیتھوگرافی مشین سے مل سکتا ہے۔ اور فوٹو لیتھوگرافی مشین کے لئے صحت سے متعلق سلکان کاربائڈ ساختی حصوں کی ایک سیریز۔
| پراپرٹیز | فاؤنٹائل | ||
| کثافت (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| ینگز ماڈیولس (GPa) | 368 | ||
| لچکدار طاقت (MPa) | 334 | ||
| ویبل | 8.35 | ||
| CTE (×10-6/℃) | 100℃ | 2.8×10-6 | |
| 400℃ | 3.6×10-6 | ||
| 800℃ | 4.2×10-6 | ||
| 1000℃ | 4.6×10-6 | ||
| تھرمل چالکتا (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| پوئزن کے تناسب | 0.187 | ||
| شیئر ماڈیولس (GPa) | 155 | ||