Đặc điểm về chất lượng tinh thể chất lượng cao của lớp epiticular SiC làm cho lớp epiticular phải có cấu trúc tinh thể có độ tinh khiết cao và mật độ khuyết tật thấp để đảm bảo độ tin cậy.
Mâm cặp tĩnh điện hay còn gọi là mâm cặp tĩnh điện (ESC, e-Chuck), là loại vật cố định sử dụng nguyên lý hấp phụ tĩnh điện để giữ và cố định vật bị hấp phụ, thích hợp cho...