Mâm cặp chân không gốm mật độ cao (mâm cặp chân không gốm xốp), là vật liệu gốm xốp đặc biệt có kích thước lỗ từ 2 đến 3 micron, không dễ bị chặn, lực hút chân không cao, một phần diện tích...
Gốm sứ cacbua silic đóng một vai trò quan trọng trong thiết bị sản xuất chất bán dẫn/mạch tích hợp do các đặc tính vật lý và hóa học độc đáo của chúng.