ASML được thành lập vào ngày 1 tháng 4 năm 1984 với tên gọi ASM Lithography. Sứ mệnh của liên doanh giữa Philips và ASM International này là thương mại hóa PAS 2000, máy bước bán wafer được phát triển bởi Philips...
Năm 2018, quy mô thị trường toàn cầu của thiết bị khắc cao tới khoảng 10 tỷ đô la Mỹ và với việc giảm các nút xử lý chip, các bước khắc được tăng thêm và ...