Robot công nghiệp đầu tiên trên thế giới ra đời tại Hoa Kỳ vào năm 1962. Kỹ sư người Mỹ George Charles Devol, Jr. đã đề xuất "phản ứng linh hoạt đối với robot tự động thông qua Giảng dạy và Playbac...
Hiện tại, các bộ phận bán dẫn chân không trong nước tương đương với giai đoạn phát triển của thiết bị bán dẫn trong nước khoảng 3 đến 5 năm trước, và một số nhà cung cấp các bộ phận khác nhau trong nước ...