Mâm cặp tĩnh điện hay còn gọi là mâm cặp tĩnh điện (ESC, e-Chuck), là loại vật cố định sử dụng nguyên lý hấp phụ tĩnh điện để giữ và cố định vật bị hấp phụ, thích hợp cho...
Mặc dù sẽ có nhiều nhà sản xuất chất quang dẫn cho kỹ thuật in thạch bản EUV. Nhưng hiện tại thị trường đang bị chi phối bởi các công ty Nhật Bản.