Một trong những ưu điểm của EUV là giảm bớt các bước xử lý chip và việc sử dụng EUV thay cho công nghệ đa phơi sáng truyền thống sẽ giúp giảm đáng kể các bước lắng đọng, khắc và...
Trong quy trình sản xuất wafer, wafer cần được nung nóng đến một nhiệt độ nhất định và độ đồng đều nhiệt độ của wafer có một yêu cầu rất nghiêm ngặt, bởi vì nhiệt độ wafer đồng đều...
