Leave Your Message
Các bộ phận bằng gốm & Bộ phận thạch anh & Phớt perfluorinated & Mâm cặp tĩnh điện....

Tin tức

Các bộ phận bằng gốm & Bộ phận thạch anh & Phớt perfluorinated & Mâm cặp tĩnh điện....

2024-04-30

Sự chậm trễ trong việc phát triển các bộ phận chính xác của chất bán dẫn chủ yếu là do quy trình các bộ phận bán dẫn quan trọng phức tạp, yêu cầu độ chính xác cao, chu kỳ chứng nhận dài, hầu hết các nhà lãnh đạo nước ngoài đã hình thành rào cản gia nhập cao sau nhiều năm tích lũy và cách bố trí ngành công nghiệp linh kiện tổng hợp trong nước đã bị thiếu trong một thời gian dài, mặt khác, các loại bộ phận khác nhau, lô tương đối nhỏ, kích thước đặc biệt, v.v. Quy mô phân khúc thị trường nằm rải rác, không gian nhu cầu thị trường có trần, ban đầu dựa vào sự phát triển trước của ngành công nghiệp thiết bị, thiếu sự quan tâm và theo đuổi vốn trong dài hạn, dự kiến ​​kênh niêm yết doanh nghiệp vừa và nhỏ "chuyên biệt và đặc biệt" sẽ giúp các nhà sản xuất các sản phẩm phân khúc có được sự phát triển đáng kể, CVC (Vốn doanh nghiệp) và sự phát triển của thị trường quốc tế cũng sẽ trở thành một cách quan trọng để các công ty linh kiện phát huy lợi thế của mình.


Phần sau đây thảo luận về tình hình của ngành công nghiệp phụ tùng thiết bị xử lý khô trước đây từ thị trường tổng thể và các danh mục cụ thể, đồng thời liệt kê một số ngành công nghiệp phụ tùng vật liệu có tỷ lệ nội địa hóa thấp hoặc mức tiêu thụ tương đối cao.


Quy mô thị trường bộ phận bán dẫn

Các bộ phận bán dẫn trước tiên được chia thành hai loại: 1. Các bộ phận máy chính xác và 2. Các bộ phận mua chung. 1. Các phụ kiện máy chính xác thường được thiết kế bởi các công ty thiết bị bán dẫn khác nhau, sau đó gia công gia công, chỉ dành cho thiết bị của công ty, chẳng hạn như buồng xử lý, buồng truyền động, v.v., việc bản địa hóa tương đối dễ dàng và việc xử lý bề mặt, gia công chính xác và yêu cầu công nghệ khác cao hơn. 2. Phụ tùng mua chung là một số phụ tùng chung đã được kiểm chứng từ lâu và được nhiều nhà máy, nhà sản xuất thiết bị công nhận rộng rãi. Chúng được tiêu chuẩn hóa hơn và sẽ được các công ty thiết bị khác nhau sử dụng, đồng thời cũng sẽ được sử dụng làm phụ tùng thay thế và vật tư tiêu hao trên dây chuyền sản xuất. Ví dụ: các bộ phận kết cấu silicon, vòng đệm chữ O, van, đồng hồ đo, máy bơm, tấm mặt, đầu phun khí, đầu vòi hoa sen, v.v., những bộ phận đó có tính linh hoạt và nhất quán cao và cần được chứng nhận bởi thiết bị và dây chuyền sản xuất .


Là thành phần chính của thiết bị bán dẫn, các bộ phận, cùng với vật liệu bán dẫn và phần mềm EDA, hỗ trợ các liên kết thiết kế, sản xuất, niêm phong và thử nghiệm trong chuỗi công nghiệp bán dẫn, từ đó hỗ trợ quá trình kỹ thuật số của nền kinh tế toàn cầu. Các thành phần cốt lõi của chất bán dẫn, giống như nguyên liệu thô bán dẫn, mặc dù quy mô thị trường nhỏ nhưng nó quyết định thành phần cốt lõi, giá thành chính và hiệu suất chất lượng cao của thiết bị bán dẫn. Năm 2020, quy mô thị trường linh kiện bán dẫn cốt lõi toàn cầu là khoảng 20-30 tỷ USD và quy mô thị trường thiết bị bán dẫn là khoảng 80-90 tỷ USD; Thiết bị bán dẫn và vật liệu bán dẫn, EDA cùng nhau hỗ trợ quy mô ngành công nghiệp ứng dụng và chip bán dẫn toàn cầu trị giá khoảng 500 tỷ đô la Mỹ.


Bộ phận bán dẫn Tổng quan về ngành

Chúng tôi chia các thiết bị đầu cuối bán dẫn thành ba loại chính:

(1) Thiết bị quang học, chủ yếu bao gồm máy in thạch bản và thiết bị đo lường/phát hiện,

(2) thiết bị xử lý khô, chủ yếu bao gồm máy khắc, PVD, CVD, máy cấy ion, v.v.

(3) thiết bị xử lý ướt, chủ yếu bao gồm thiết bị làm sạch, thiết bị phát triển keo và thiết bị CMP.


Các loại linh kiện bán dẫn và thiết bị được sử dụng trong chúng tương ứng với các loại sau:

Các doanh nghiệp sản xuất linh kiện, theo nguyên liệu và chức năng chính của các bộ phận bán dẫn được chia thành 12 loại, bao gồm

  1. Các bộ phận silicon/silicon cacbua,
  2. Bộ phận thạch anh,
  3. bộ phận gốm sứ,
  4. Bộ phận kim loại,
  5. Các bộ phận than chì,
  6. Bộ phận nhựa,
  7. Bộ phận chân không,
  8. Con dấu,
  9. Bộ phận lọc,
  10. Bộ phận chuyển động,
  11. Bộ phận điều khiển điện
  12. Những khu vực khác.

Mỗi bộ phận này còn bao gồm một số sản phẩm phụ, chẳng hạn như bộ phận chân không, bao gồm máy đo chân không (đo quá trình chân không), máy đo áp suất chân không, máy đo lưu lượng khí (MFC), bộ phận van chân không, máy bơm chân không và các bộ phận quan trọng khác.


Các bộ phận vật liệu có tỷ lệ nội địa hóa thấp

Thiết bị sản xuất chất bán dẫn yêu cầu vật liệu linh kiện chính xác, có trọng lượng nhẹ, độ bền cao, độ dẫn nhiệt cao và hệ số giãn nở nhiệt thấp, đồng đều dày đặc không có khuyết tật. Ngoài vật liệu, cấu trúc, quy trình và chất lượng, các bộ phận bán dẫn còn có yêu cầu cao về độ chính xác, độ tin cậy và ổn định nên việc nội địa hóa rất khó khăn.


Bộ phận gốm sứ

1). Vật liệu chính của linh kiện gốm bán dẫn và vật tư tiêu hao

Các bộ phận gốm chính xác Các vật liệu bộ phận bán dẫn chính xác tiêu biểu nhất. Gốm sứ chính xác chiếm khoảng 16% giá trị sản xuất thiết bị bán dẫn. Gốm bán dẫn là alumina, silicon nitride, nhôm nitride, silicon cacbua, v.v. So với vật liệu hữu cơ và kim loại, vật liệu gốm thường có khả năng chống ăn mòn vật lý và hóa học tốt hơn và nhiệt độ làm việc cao, và đã trở thành thành phần cốt lõi của quy trình sản xuất wafer silicon đơn tinh thể bán dẫn và quy trình xử lý trước đó. Gốm có độ cứng cao, mô đun đàn hồi cao, chống mài mòn cao, cách nhiệt cao, chống ăn mòn, độ giãn nở thấp và các ưu điểm khác, có thể được sử dụng làm máy đánh bóng silicon, epiticular/oxy hóa/khuếch tán và các thiết bị xử lý nhiệt khác, máy in thạch bản, thiết bị lắng đọng, thiết bị khắc bán dẫn, máy cấy ion và các bộ phận thiết bị khác.

(1)Al₂O₃

(2) SiC

(3) AIN

Ảnh chụp màn hình WeChat_20240424185106.png


(4)Si3N4


2). Mô hình thị trường của các bộ phận gốm chính xác

Hiện nay, các công ty nước ngoài đang đi đầu trong việc nghiên cứu phát triển và ứng dụng các bộ phận kết cấu gốm chính xác cho thiết bị lõi mạch tích hợp tại Nhật Bản, CoorsTek của Hoa Kỳ, Berlinerglas của Đức, v.v., trong đó có Kyocera của Nhật Bản và CoorsTek tại Hoa Kỳ chiếm 70% thị phần các bộ phận kết cấu gốm có độ chính xác cao cho thiết bị lõi mạch tích hợp.


Đồ thạch anh

Công nghiệp thủy tinh thạch anh bán dẫn

Thủy tinh thạch anh là một vật liệu phụ trợ quan trọng trong ngành công nghiệp bán dẫn, được sử dụng rộng rãi trong sản xuất chất bán dẫn photomask, khuếch tán, khắc và các liên kết khác, là một trong những nguyên liệu thô chính trong ngành bán dẫn. Thạch anh có khả năng chịu nhiệt độ cao, hệ số giãn nở nhiệt nhỏ, truyền ánh sáng tuyệt vời, cách điện tốt, chống ăn mòn và các hiệu suất vượt trội khác, nhu cầu hạ nguồn tham gia rộng rãi vào ngành công nghiệp nguồn sáng cấp thấp (4%), công nghiệp quang điện (7% ), cũng như quang học cao cấp (10%), cáp quang (14%) và chất bán dẫn (65%) và ngưỡng kỹ thuật khác của các lĩnh vực cao hơn.


Vòng đệm perfluorinated

Vòng đệm perfluorinated là một trong năm vật tư tiêu hao chính cần thiết để sản xuất mạch tích hợp và tỷ lệ tự cung cấp trong nước hiện nay là dưới 1%. Trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, khí flo và hydro thường gặp nhiệt độ cao. Nếu không có vòng đệm, dòng khí năng lượng cao tiếp xúc với bề mặt vật liệu biến tính, điều này sẽ gây ra sự ăn mòn mạnh trên bề mặt vật liệu.


Đầu kẹp tĩnh điện

Mâm cặp tĩnh điện là loại vật mang wafer siêu sạch phù hợp với môi trường chân không hoặc môi trường plasma. Nó sử dụng nguyên lý hấp phụ tĩnh điện để thực hiện kẹp phẳng và đồng đều các tấm wafer siêu mỏng, và được sử dụng rộng rãi trong PVD, PECVD, ETCH, EUVL, cấy ion và các thiết bị sản xuất chất bán dẫn khác. Hệ thống giữ mâm cặp tĩnh điện điển hình là cấu trúc bánh sandwich bao gồm ba phần: lớp hấp phụ điện môi, lớp điện cực và lớp đế. Ba phần được xếp chồng lên nhau theo cấu trúc phân lớp trong mâm cặp tĩnh điện từ lớp bề mặt đến lớp đế để tạo thành lớp hấp phụ điện môi, lớp điện cực và lớp đế.


Thị trường mâm cặp tĩnh điện toàn cầu có tính độc quyền cao, bị chi phối bởi các công ty Nhật Bản và Mỹ, các công ty Mỹ chủ yếu là AMAT (Vật liệu ứng dụng), LAM (Tập đoàn Pan Forest) và các công ty Nhật Bản chủ yếu là Shinko (Shinko Electric), TOTO, NTKCERATEC, v.v. Các đại gia quốc tế từ lâu đã kiểm soát chuỗi cung ứng sản phẩm mâm cặp tĩnh điện toàn cầu và mức độ tập trung thị trường cao.


Fountyl Technologies PTE Ltd, đang tập trung vào ngành sản xuất chất bán dẫn, các sản phẩm chính bao gồm: Mâm cặp chốt, mâm cặp gốm xốp, bộ tác động cuối bằng gốm, dầm vuông gốm, trục chính bằng gốm, vui lòng liên hệ và đàm phán!