Gốm sứ cacbua silic dùng trong thiết bị sản xuất chất bán dẫn/mạch tích hợp

Gốm sứ cacbua silic đóng một vai trò quan trọng trong thiết bị sản xuất chất bán dẫn/mạch tích hợp do các đặc tính vật lý và hóa học độc đáo của chúng. Tuy nhiên, cần lưu ý rằng hiện nay, việc nghiên cứu phát triển và ứng dụng các bộ phận kết cấu gốm chính xác cho thiết bị lõi mạch tích hợp chủ yếu tập trung ở Hoa Kỳ, Nhật Bản, Châu Âu và các nơi khác, và chúng vẫn ở vị thế độc quyền tuyệt đối. . Do đó, Trung Quốc vẫn cần nghiên cứu và đột phá hơn nữa về vật liệu gốm cacbua silic và công nghệ điều chế liên quan.

1, Gmâm cặp mài và đánh bóng

Trong quy trình sản xuất mâm cặp đánh bóng cacbua silic, vật liệu gốm cacbua silic được xử lý thành hình dạng của mâm cặp và thông qua xử lý quy trình đặc biệt để bề mặt của nó có đặc tính mài và đánh bóng tuyệt vời. Khi sử dụng, mâm cặp sẽ mài và đánh bóng bề mặt phôi bằng cách hấp thụ bề mặt phôi, sử dụng độ cứng và độ sắc nét của gốm silicon cacbua để loại bỏ các tạp chất như gờ và oxit trên bề mặt, đồng thời cải thiện độ hoàn thiện và độ chính xác của bề mặt của phôi.

Các tính năng chính của mâm cặp mài và đánh bóng cacbua silic bao gồm:

o Độ cứng cao: gốm silic cacbua có độ cứng cực cao, chỉ đứng sau kim cương nên có thể thực hiện các thao tác mài, đánh bóng một cách hiệu quả để loại bỏ các khuyết tật, bất thường trên bề mặt vật liệu.

o Khả năng chống mài mòn cao: Độ cứng cao của gốm silicon cacbua cũng mang lại khả năng chống mài mòn tốt, có thể duy trì độ mài mòn nhỏ trong quá trình mài và đánh bóng lâu dài và cải thiện tuổi thọ của dụng cụ.

o Độ ổn định nhiệt cao: Gốm silicon cacbua có độ ổn định nhiệt cao và hệ số giãn nở nhiệt thấp, có thể duy trì hoạt động ổn định trong môi trường nhiệt độ cao, thích hợp cho các hoạt động mài và đánh bóng ở nhiệt độ cao.

o Độ ổn định hóa học tốt: gốm silicon cacbua có độ ổn định tốt với hầu hết các chất hóa học, không dễ bị ăn mòn và xói mòn và có thể duy trì hiệu suất ổn định trong nhiều môi trường khác nhau.

2, Mâm cặp in thạch bản

Mâm cặp in thạch bản cacbua silic đóng một vai trò quan trọng trong quá trình sản xuất mạch tích hợp. Nó có thể cung cấp khả năng cố định và hỗ trợ wafer silicon ổn định và có độ chính xác cao để đảm bảo tiến trình in thạch bản diễn ra suôn sẻ, từ đó cải thiện hiệu quả sản xuất và chất lượng của mạch tích hợp.

Cần lưu ý rằng mâm cặp in thạch bản cacbua silic là thành phần chính trong sản xuất mạch tích hợp, công nghệ sản xuất và yêu cầu độ chính xác của nó rất cao. Hiện tại, chỉ có một số công ty nước ngoài có thể sản xuất mâm cặp in thạch bản để đáp ứng yêu cầu sản xuất mạch tích hợp, công nghệ và sản phẩm của Trung Quốc trong lĩnh vực này cần được phát triển và cải tiến hơn nữa.

Các tính năng chính của mâm cặp in thạch bản cacbua silic bao gồm:

o độ chính xác cao: Gốm silicon cacbua có độ cứng và độ chính xác cực cao, có thể đáp ứng các yêu cầu cố định và hỗ trợ có độ chính xác cao của tấm silicon trong quy trình sản xuất mạch tích hợp.

o Độ ổn định cao: Gốm silicon cacbua có độ ổn định nhiệt cao và hệ số giãn nở nhiệt thấp, có thể duy trì kích thước và hình dạng ổn định trong quá trình in thạch bản để tránh ảnh hưởng đến độ chính xác của in thạch bản.

o Độ ổn định hóa học tốt: gốm silicon cacbua có độ ổn định tốt với hầu hết các chất hóa học, không dễ bị ăn mòn và xói mòn và có thể duy trì hiệu suất ổn định trong quá trình in thạch bản.

o Lực hấp phụ cao: Máy hút in thạch bản cacbua silic áp dụng công nghệ hấp phụ đặc biệt, có thể hấp phụ chắc chắn các tấm silicon để đảm bảo nó không bị dịch chuyển hoặc rung lắc trong quá trình in thạch bản, đảm bảo độ chính xác và ổn định của in thạch bản.

3, Mâm cặp phát hiện

mâm cặp phát hiện cacbua silic có thể đảm bảo quá trình phát hiện diễn ra suôn sẻ, do đó cải thiện chất lượng sản xuất của các mạch tích hợp. Đồng thời, tuổi thọ của mâm cặp phát hiện cacbua silic dài, có thể giảm chi phí sản xuất và chi phí bảo trì, đồng thời cải thiện lợi ích kinh tế tổng thể.

4, Nền tảng chuyển động chính xác

Nền tảng chuyển động chính xác cacbua silic đóng một vai trò quan trọng trong các lĩnh vực sản xuất và chế biến có độ chính xác cao khác nhau. Nó có thể cung cấp các giải pháp điều khiển chuyển động có độ chính xác cao và độ ổn định cao để xử lý chất bán dẫn, sản xuất quang học, công nghệ nano và các lĩnh vực khác để cải thiện chất lượng sản phẩm và hiệu quả sản xuất.

Các tính năng chính của nền tảng chuyển động chính xác cacbua silic bao gồm:

o Độ chính xác cao: gốm cacbua silic có độ cứng và độ chính xác cực cao, có thể đáp ứng yêu cầu độ chính xác cao của nền tảng chuyển động và đảm bảo độ ổn định và chính xác của nền tảng trong quá trình di chuyển.

o Độ ổn định cao: Gốm cacbua silic có độ ổn định nhiệt cao và hệ số giãn nở nhiệt thấp, có thể duy trì hiệu suất ổn định ở nhiệt độ cao và môi trường khắc nghiệt, giảm biến dạng kích thước và sai số nhiệt, đồng thời đảm bảo độ ổn định lâu dài của nền tảng.

o Nhẹ: Gốm cacbua silic có mật độ thấp và độ bền cao, có thể nhận ra thiết kế nhẹ của nền tảng, giảm quán tính chuyển động, giảm tải động cơ và cải thiện phản ứng động và khả năng tăng tốc của nền tảng.

o Khả năng chống mài mòn cao: Gốm sứ cacbua silic có khả năng chống mài mòn tuyệt vời, có thể chống lại chuyển động tốc độ cao và mài mòn khi chịu tải nặng, kéo dài tuổi thọ của bệ.

5,Các bộ phận cacbua silic có độ tinh khiết cao để khắc liên kết 

Trong quá trình khắc, các thành phần cacbua silic có độ tinh khiết cao đóng vai trò quan trọng. Cacbua silic có độ tinh khiết cao có các đặc tính vật lý và hóa học tuyệt vời, như độ cứng cao, độ ổn định nhiệt cao, độ ổn định hóa học tốt và độ phản ứng thấp, khiến nó trở thành vật liệu lý tưởng cho thiết bị khắc.

các bộ phận cacbua silic có độ tinh khiết cao đóng một vai trò quan trọng. Cacbua silic có độ tinh khiết cao có các đặc tính vật lý và hóa học tuyệt vời, như độ cứng cao, độ ổn định nhiệt cao, độ ổn định hóa học tốt và độ phản ứng thấp, khiến nó trở thành vật liệu lý tưởng cho thiết bị khắc.

Trong thiết bị khắc plasma, cacbua silic có độ tinh khiết cao thường được sử dụng để chế tạo các bộ phận chính như vòng lấy nét, đầu phun khí, pallet, vòng cạnh, khoang khắc, vòi phun khí khắc, v.v. Các thành phần này đóng vai trò quan trọng trong quá trình khắc , chẳng hạn như vòng lấy nét để đảm bảo phân phối plasma đồng đều, đầu phun khí để điều khiển chính xác việc phun khí, khay và vòng cạnh để hỗ trợ và ổn định tấm bán dẫn được khắc.

Các bộ phận cacbua silic có độ tinh khiết cao cho thấy sự ổn định tốt trong môi trường chứa khí ăn mòn clo và flo, đồng thời khả năng phản ứng thấp của nó có thể làm giảm hiệu quả sự ăn mòn và hư hỏng thiết bị trong quá trình ăn mòn. Ngoài ra, cacbua silic có độ tinh khiết cao cũng có độ dẫn điện tương tự silicon, giúp nó dẫn dòng điện một cách hiệu quả trong quá trình ăn mòn, đảm bảo tính đồng nhất và nhất quán của quá trình ăn mòn.

Với sự tiến bộ không ngừng của sản xuất mạch tích hợp, yêu cầu về công nghệ khắc ngày càng cao hơn. Các thành phần cacbua silic có độ tinh khiết cao, với hiệu suất và độ ổn định tuyệt vời, là một trong những chìa khóa để đáp ứng các yêu cầu này. Với sự phát triển không ngừng của công nghệ, việc ứng dụng cacbua silic có độ tinh khiết cao trong quá trình khắc sẽ ngày càng được mở rộng.

6, Hệ thống chuyển động chính xác trong kiểm tra gói hàng

Trong điều khiển chuyển động tốc độ cao và độ chính xác cao, gốm silicon cacbua có độ cứng cao và ma sát thấp có thể làm giảm mài mòn và ma sát, đồng thời cải thiện độ ổn định và tuổi thọ của hệ thống. Đồng thời, trong quá trình kiểm tra gói hàng, sự thay đổi nhiệt độ có thể tác động đến hệ thống chuyển động chính xác và việc ứng dụng gốm silicon cacbua có thể giảm tác động này một cách hiệu quả và cải thiện độ tin cậy và độ ổn định của hệ thống.

Hệ thống chuyển động chính xác của gốm cacbua silic trong liên kết đóng gói và thử nghiệm bao gồm các bộ phận chính như ray dẫn hướng, ổ trục và khối trượt. Độ chính xác và hiệu suất sản xuất của các bộ phận này ảnh hưởng trực tiếp đến độ ổn định và độ chính xác của toàn bộ hệ thống chuyển động. Do đó, công nghệ xử lý có độ chính xác cao và công nghệ xử lý bề mặt của gốm silic cacbua cũng rất quan trọng.

Gốm sứ cacbua silic cũng được sử dụng cho các hệ thống chuyển động chính xác trong quy trình kiểm tra gói sản xuất, chẳng hạn như căn chỉnh và lắp trong quá trình đóng gói chip.

Gốm sứ cacbua silic đóng vai trò quan trọng trong hệ thống chuyển động chính xác để kiểm tra gói hàng. Với sự tiến bộ không ngừng của công nghệ và sự mở rộng của các lĩnh vực ứng dụng, việc ứng dụng gốm silicon cacbua trong các hệ thống chuyển động chính xác sẽ ngày càng mở rộng.

CÔNG TY TNHH CÔNG NGHỆ FOUNTYL. TNHH. là một doanh nghiệp hiện đại trong lĩnh vực R&D gốm sứ tiên tiến, sản xuất và bán hàng là một, chủ yếu sản xuất gốm xốp, alumina, zirconia, silicon nitride, silicon Carbide, nhôm nitride, gốm điện môi vi sóng và các vật liệu gốm tiên tiến khác. Chuyên gia công nghệ Nhật Bản được mời đặc biệt của chúng tôi có hơn 30 năm kinh nghiệm trong lĩnh vực bán dẫn, cung cấp hiệu quả các giải pháp ứng dụng gốm sứ đặc biệt với khả năng chống mài mòn, chống ăn mòn, chịu nhiệt độ cao, dẫn nhiệt, cách nhiệt cao cho khách hàng trong và ngoài nước.