Làm sạch wafer Phân tích thị trường thiết bị sạch/ướt

Toàn bộ quy trình bán dẫn cần phải được làm sạch nhiều lần và quy trình làm sạch diễn ra trong ngành bán dẫn, chiếm hơn 30% tổng quy trình sản xuất. Từ việc phân tích giá trị đầu ra của toàn bộ thị trường thiết bị công nghiệp bán dẫn, thiết bị xử lý wafer chiếm 80% và tổng giá trị sản xuất của bước làm sạch chiếm khoảng 33% thiết bị xử lý wafer và thiết bị làm sạch đóng vai trò quan trọng. tác động quan trọng đến tỷ lệ vượt qua và lợi ích kinh tế của dây chuyền sản xuất.

Theo dữ liệu của SEMI, thị trường thiết bị làm sạch wafer toàn cầu là 3,7 tỷ USD vào năm 2020, chiếm 5% tổng số thiết bị. Trong số đó, Screen Electronics Co., ba công ty hàng đầu trên thị trường thiết bị làm sạch tấm bán dẫn. , Ltd. Cùng với Screen, Tokyo Electron Limited (TEL) và Lam Research Corporation (Lam) chiếm 87,7% thị trường thiết bị làm sạch wafer. Báo cáo nghiên cứu chuyên sâu về ngành thiết bị làm sạch bán dẫn của Guanfa Securities cho thấy năm 2019, nhu cầu toàn cầu về máy làm sạch megatound là 221 chiếc và chỉ có thị trường máy làm sạch megatound mới có thể đạt 663 triệu USD. Naura Chuang, công nghệ thuần túy chỉ chiếm chưa đến 1%. Với việc chuyển giao ngành công nghiệp bán dẫn sang Trung Quốc, không gian thị trường trong nước ngày càng tăng, nguồn khách hàng tiềm năng dồi dào và máy làm sạch cần đáp ứng quy trình nội địa mới nhất. Theo ước tính của Chứng khoán Quảng Phát, trong 5 năm từ 2019-2023, không gian thị trường thiết bị làm sạch của các công ty đại lục sẽ đạt hơn 40 tỷ nhân dân tệ. Bảng này là thị phần máy giặt ướt và thị phần trong nước do GF Securities đo lường.

Theo SEMI, công ty này là công ty hàng đầu thế giới về thiết bị làm sạch, với 45,1% thị phần thiết bị làm sạch bán dẫn toàn cầu, với 60% doanh thu đến từ chất tẩy rửa SU3200 có thể được sử dụng trong quy trình 7nm. Được thành lập vào năm 1868, công ty đã phát triển thế hệ thiết bị làm sạch wafer đầu tiên vào năm 1975. Trong 40 năm sau đó, công ty tập trung vào nghiên cứu phát triển và quảng bá thiết bị làm sạch wafer, cung cấp thiết bị làm sạch chất bán dẫn có trụ sở tại Nhật Bản và cho thế giới. Thị phần của ba lĩnh vực thiết bị làm sạch quan trọng nhất là thiết bị làm sạch wafer đơn, bàn làm sạch tự động và máy giặt chiếm vị trí đầu tiên trên thế giới và là công ty dẫn đầu về công nghệ thiết bị làm sạch. Hiện tại, công ty có trụ sở chính tại Nhật Bản và có chi nhánh tại Hoa Kỳ, Châu Âu, Hàn Quốc và Bắc Kinh, Thiên Tân, Vô Tích, Vũ Hán, Đại Liên, Thâm Quyến và Đài Loan tại Trung Quốc. Mạng lưới bán thiết bị làm sạch bao gồm Intel, TSMC, Samsung, SK Hynix, SMIC, Huahong và các gã khổng lồ nổi tiếng quốc tế khác.

Thế hệ thiết bị làm sạch mới nhất là SU-3300, xuất phát từ dòng SU thống trị lâu đời, bắt đầu từ dòng SU-2000, SU-3100, SU-3200, SU đã đi đầu trong quy trình chip được sử dụng trong máy làm sạch cao cấp. Như được thể hiện trong hình ảnh:

Tokyo Electronics là công ty thiết bị làm sạch tấm bán dẫn lớn thứ hai sau Dean, tính đến tháng 6 năm 2020, công ty đã bán được hơn 62.000 bộ thiết bị làm sạch trên toàn thế giới và là công ty đầu tiên sản xuất đều đặn 11 tấm bán dẫn có độ tinh khiết cực cao. Được thành lập vào năm 1963, Tokyo Electronics sáp nhập với Thermco Products Corp vào năm 1968 để trở thành nhà sản xuất thiết bị sản xuất chất bán dẫn đầu tiên ở Nhật Bản, đồng thời bắt đầu thiết kế và sản xuất thiết bị làm sạch wafer trong cùng năm và trở thành nhà cung cấp thiết bị làm sạch hàng đầu vào năm 1981. Năm 1989- Năm 1991 thậm chí còn vượt qua Dean ba lần liên tiếp vô địch thiết bị làm sạch, trong hai thập kỷ tiếp theo, Tokyo Electronics cũng vững vàng đứng thứ hai trên ngai vàng thiết bị làm sạch wafer thế giới.

Thế hệ sản phẩm thiết bị làm sạch mới nhất của Tokyo Electron là CELLESTA SCD, các sản phẩm thuộc dòng CELLESTA được sử dụng rộng rãi để làm sạch các tấm silicon trong quy trình bán dẫn, bao gồm chip kích thước nhỏ, chip logic phức tạp và bộ nhớ DRAM được sử dụng trong PC hoặc NB. Như được thể hiện trong hình ảnh:

Pangilin Semiconductor là sản phẩm trí tuệ của công ty công nghệ bán dẫn David K. Lam, được thành lập năm 1980 và có trụ sở chính tại Thung lũng Silicon, California, là một trong những nhà cung cấp dịch vụ và sản xuất wafer hàng đầu thế giới, với thị phần tổng thể chỉ đứng sau ASML và AMAT, xếp hạng thứ ba trên thế giới. Trong lĩnh vực thiết bị làm sạch wafer, Công ty bán dẫn Panglin cũng đứng thứ ba thế giới sau Dean và Tokyo Electronics Company, chiếm khoảng 12,5% thị trường toàn cầu vào năm 2019.

Thiết bị vệ sinh Pan Forest thế hệ mới nhất là Coronus HP

Như trong hình, hệ thống làm sạch wafer này sử dụng công nghệ giam giữ plasma để bảo vệ hiệu quả khu vực chip; Loại bỏ tại chỗ các lớp màng mỏng và cặn của các vật liệu khác nhau và loại bỏ có chọn lọc các vật liệu không mong muốn khỏi các cạnh của tấm bán dẫn có thể cải thiện hiệu quả sản xuất và cải thiện năng suất sản phẩm; Màng kim loại có thể được loại bỏ, điều này có thể ngăn chặn sự hình thành hồ quang trong các bước plasma tiếp theo.

Chất bán dẫn có hai công nghệ cốt lõi tự phát triển -SAPS (không gian xen kẽ dịch pha) và công nghệ làm sạch TEBO (dao động bong bóng được cung cấp năng lượng kịp thời). Cả hai đã giải quyết được các vấn đề về tính đồng nhất phân phối năng lượng siêu âm và năng lượng hủy diệt, đồng thời có một số bằng sáng chế và công nghệ cốt lõi trong lĩnh vực làm sạch siêu âm. Để đối phó với lượng lớn nước thải axit sunfuric nồng độ cao, khó xử lý thải ra trong quá trình sản xuất chip, Sheng Mei đã độc quyền phát minh ra thiết bị làm sạch axit sunfuric nhiệt độ cao đầu tiên -UltracTahoe, một tính năng của thiết bị này là giảm lượng axit sulfuric được sử dụng tới 90%, giảm tác động của ngành công nghiệp bán dẫn tới môi trường.

Như trong hình, xét đến vấn đề mà công nghệ làm sạch khe truyền thốngkhông đủ sạch trong quy trình dưới 28nm, UltracTahoe đã phát triển một thế hệ thiết bị làm sạch kết hợp mới bằng cách trước tiên làm sạch chip trong khe, sau đó là nguyên tắc làm sạch từng mảnh, có thể tái sử dụng axit sulfuric và đạt được hiệu quả làm sạch có độ trong cao, có thể làm giảm ô nhiễm môi trường và tiết kiệm chi phí rất lớn.

Công ty TNHH Công nghệ Fountyl PTE,làtập trung vào ngành sản xuất chất bán dẫn, chính sản phẩm bao gồm: Đầu cặp chốt, đầu cặp bằng sứ xốp, đầu bằng gốmngười tác động, gốm sứchùm vuông, trục gốm, chào mừng bạn đếnliên hệ và đàm phán!