Ứng dụng tia X trong sản xuất chip

Tia X được sử dụng rộng rãi trong sản xuất và đời sống, tầm quan trọng của việc sản xuất chất bán dẫn là điều hiển nhiên. Hôm nay chúng ta hãy nói về ứng dụng của tia X trong sản xuất chất bán dẫn.

Tia X là gì?

Tia X là một loại sóng điện từ. Sóng điện từ được sắp xếp theo kích thước bước sóng, theo thứ tự: Sóng vô tuyến > Sóng vi ba > Hồng ngoại > Ánh sáng nhìn thấy > Tia cực tím > Tia X > Tia gamma. Sóng điện từ có bước sóng càng ngắn thì tần số càng cao và năng lượng càng mạnh.

Với phạm vi bước sóng từ 0,01 đến 10 nanomet, nó có năng lượng cao và cho đến nay là sóng điện từ có khả năng xuyên thấu mạnh nhất ngoại trừ tia gamma. Vì bước sóng quá ngắn nên tia X thường được gọi là năng lượng hơn là bước sóng. Tia X được nhà khoa học người Đức Wilhelm Conrad Roentgen phát hiện vào năm 1895 và vì bản chất của chúng chưa được biết đến vào thời điểm đó nên chúng được đặt tên là "tia X". Ông phát hiện ra rằng tia X từ cánh tay và bàn tay có thể tạo ra hình ảnh chi tiết của xương bên trong. Đó là do xương đặc và hấp thụ nhiều tia X hơn da nên phim X quang để lại bóng của xương trong khi da có vẻ trong suốt. Năm 1896, ông công bố phát hiện của mình trên Tạp chí Vật lý. Khám phá của ông đã thu hút sự chú ý trên toàn thế giới và tạo nên một cuộc cách mạng về hình ảnh y học. Roentgen đã giành giải Nobel Vật lý đầu tiên cho vấn đề này vào năm 1901, vì vậy tia X còn được gọi là tia Roentgen. Nhiễu xạ tia X (XRD) trong sản xuất chất bán dẫn

XRD là một kỹ thuật được sử dụng để xác định cấu trúc nguyên tử và phân tử bên trong tinh thể. Cấu trúc tinh thể và thành phần hóa học của mẫu có thể được suy ra bằng cách đo Góc nhiễu xạ và cường độ tia từ cấu trúc tinh thể bên trong mẫu. Nguyên lý cơ bản của nhiễu xạ tia X là Định luật Bragg, mô tả rằng cường độ của tia sẽ đạt cực đại ở một Góc cụ thể khi chúng bị phản xạ trong mặt phẳng tinh thể. Góc này phụ thuộc vào các thông số mạng của tinh thể.

Quang phổ huỳnh quang tia X (XRF)

XRF Nó có thể được sử dụng để xác định thành phần nguyên tố của vật liệu, với ưu điểm là nó có thể phân tích mẫu không phá hủy và thường không yêu cầu xử lý mẫu phức tạp. XRF hoạt động dựa trên cấu trúc nguyên tử của từng nguyên tố. Khi một chất bị bắn phá bởi tia X hoặc các electron năng lượng cao, các electron bên trong của nó sẽ bị tia hoặc electron đánh bật ra khỏi nguyên tử, khiến nguyên tử ở trạng thái kích thích. Để khôi phục lại sự ổn định, một electron bên ngoài sẽ chuyển sang chỗ trống bên trong, đồng thời phát ra một photon tia X. Năng lượng của photon này bằng hiệu năng lượng giữa hai lớp vỏ electron và sự chênh lệch năng lượng này đặc trưng cho từng nguyên tố. Do đó, bằng cách đo năng lượng của tia X phát ra, chúng ta có thể xác định được các nguyên tố có trong mẫu.

CT là một công cụ phát hiện không phá hủy quan trọng. Chụp CT có thể tạo ra hình ảnh ba chiều bên trong thiết bị bán dẫn, giúp các kỹ sư tiến hành kiểm tra và phân tích toàn diện thiết bị. Nguyên lý sản sinh tia X trong thiết bị thường sử dụng “ống tia X” để tạo ra tia X. Đầu tiên, các electron được phát ra ở cực âm do quá nhiệt. Những electron này sau đó được gia tốc đến tốc độ cao và các electron được gia tốc va chạm với cực dương (thường được làm bằng vonfram hoặc kim loại khác). Trong quá trình chuyển động tốc độ cao và va chạm giữa cực âm và cực dương, các electron sẽ mất năng lượng. Khi một electron đi qua quá trình này, nó sẽ chuyển đổi một phần hoặc toàn bộ năng lượng của nó thành tia X. Tia X thu được sẽ được phát ra qua một cửa sổ.

Fountyl Technologies PTE Ltd, đang tập trung vào ngành sản xuất chất bán dẫn, các sản phẩm chính bao gồm: Mâm cặp chốt, mâm cặp gốm xốp, bộ tác động cuối bằng gốm, dầm vuông gốm, trục chính bằng gốm, vui lòng liên hệ và đàm phán!