Tia laser được tập trung vào tấm wafer, chiếu sáng một điểm sáng và ánh sáng phản xạ được tập trung lại vào mặt phẳng nhận và thông qua phân tích ánh sáng, bề mặt của tấm wafer silicon...
Robot công nghiệp đầu tiên trên thế giới ra đời tại Hoa Kỳ vào năm 1962. Kỹ sư người Mỹ George Charles Devol, Jr. đã đề xuất "phản ứng linh hoạt với robot tự động thông qua Giảng dạy và Playbac...