Epitaxy đề cập đến công nghệ tăng trưởng tinh thể hoặc lắng đọng vật liệu chiếm vị trí cực kỳ quan trọng trong quy trình sản xuất vi điện tử và quang điện tử
Trong lĩnh vực công nghệ bán dẫn đang phát triển nhanh chóng, lắng đọng hơi vật lý (PVD) là công cụ chính để đạt được độ chính xác và hiệu quả của quá trình lắng đọng màng mỏng. Giấy này đồng...