① Giga fẹẹrẹ: Lati le dinku inertia išipopada, dinku fifuye motor, mu ilọsiwaju išipopada ṣiṣẹ, iṣedede ipo ati iduroṣinṣin, awọn ẹya igbekale gbogbogbo lo apẹrẹ eto iwuwo fẹẹrẹ, oṣuwọn iwuwo fẹẹrẹ jẹ 60-80%, to 90%;
② Iwọn ipo ipo giga giga: Lati le ṣaṣeyọri iṣipopada pipe-giga ati ipo, awọn ẹya igbekale ni a nilo lati ni fọọmu giga pupọ ati deede ipo, fifẹ, afiwera ati perpendicularity nilo lati jẹ kere ju 1μm, ati fọọmu naa. Iduroṣinṣin ipo ni a nilo lati kere ju 5μm.
③ Iduroṣinṣin onisẹpo giga: Lati le ṣaṣeyọri iṣipopada konge giga ati ipo, awọn ẹya igbekale ni a nilo lati ni iduroṣinṣin iwọn giga pupọ, kii ṣe lati gbejade igara, ati adaṣe igbona giga, olùsọdipúpọ igbona kekere, ko rọrun lati gbejade abuku onisẹpo nla. ;
④ Mọ ki o si idoti-free. Awọn ẹya igbekalẹ ni a nilo lati ni olusọdipúpọ edekoyede kekere pupọju, pipadanu agbara kainetik kekere lakoko gbigbe, ko si si idoti patiku lilọ. Ohun elo carbide silikoni ni modulus rirọ ti o ga pupọ, adaṣe igbona ati ilodisi imugboroja igbona kekere, ko rọrun lati gbejade abuku aapọn ati igara igbona, ati pe o ni didan to dara julọ, o le ṣe ẹrọ si digi to dara julọ; Nitorinaa, O ni awọn anfani nla lati lo ohun alumọni ohun alumọni bi ohun elo igbekalẹ pipe fun ohun elo bọtini ti awọn iyika iṣọpọ gẹgẹbi ẹrọ fọtolithography, ohun alumọni carbide ni awọn anfani ti iduroṣinṣin kemikali ti o dara, agbara darí giga, adaṣe igbona giga ati imugboroja igbona kekere, ati pe o le lo ni iwọn otutu giga, titẹ giga, ipata ati itankalẹ ti awọn agbegbe to gaju.
Ohun alumọni carbide ni awọn anfani ti iduroṣinṣin kemikali ti o dara, agbara ẹrọ ti o ga, imudara igbona giga ati alasọdipúpọ igbona kekere, ati pe o le lo ni iwọn otutu giga, titẹ giga, ipata ati itankalẹ ti awọn agbegbe to gaju.
Ohun elo bọtini ti iyika isọpọ nbeere pe awọn ohun elo paati ni awọn abuda ti iwuwo ina, agbara giga, iba ina gbigbona giga ati olùsọdipúpọ igbona kekere, ati pe o jẹ ipon ati aṣọ laisi abawọn. Awọn ohun elo ni a nilo lati ni deede iwọn iwọn giga pupọ ati iduroṣinṣin iwọn lati rii daju gbigbe-pipe deede ati iṣakoso ohun elo. Awọn ohun elo ohun alumọni ohun alumọni ni modulus rirọ giga ati lile pato, ko rọrun lati ṣe abuku, ati pe o ni ifọkansi igbona giga ati alasọdipúpọ igbona kekere, iduroṣinṣin igbona giga, nitorinaa awọn ohun elo ohun elo ohun elo ti o dara julọ, lọwọlọwọ ni iṣelọpọ Circuit iṣọpọ ti ohun elo bọtini lati gba ọpọlọpọ awọn ohun elo, gẹgẹbi ẹrọ lithography pẹlu tabili ohun alumọni carbide ṣiṣẹ, ọkọ oju-irin itọsọna, reflector, chuck seramiki, ati ipa ipari seramiki.
Fountyl le pade ẹrọ fọtolithography gẹgẹbi aṣoju ti ohun elo bọtini iṣelọpọ iyika iṣọpọ pẹlu iwọn nla, odi tinrin ṣofo, eto eka, imọ-ẹrọ igbaradi ohun alumọni carbide awọn ẹya ara ẹrọ pipe, gẹgẹbi: ohun elo igbale igbale silikoni, ọkọ oju-irin itọsọna, reflector, tabili iṣẹ ati lẹsẹsẹ awọn ẹya igbekalẹ ohun alumọni carbide deede fun ẹrọ fọtolithography.